Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Συνεργασία JSR με SEMATECH βοηθά στη νανοηλεκτρονική Καινοτομίες

Published on May 12, 2010 at 7:42 AM

SEMATECH, μια παγκόσμια κοινοπραξία chipmakers, και JSR Corporation, μια προηγμένη προμηθευτής υλικών για τσιπ ιθύνοντες και τους άλλους, και οι ΗΠΑ τη λειτουργία του, JSR Micro, Inc ανακοίνωσε σήμερα ότι έχει γίνει το νεότερο μέλος της είναι SEMATECH Φωτοανθεκτικά υλικά και το Κέντρο Ανάπτυξης ( RMDC) στο Κολέγιο της Νανοκλίμακα Επιστήμη και Τεχνολογία (CNSE) από το Πανεπιστήμιο στο Albany.

JSR θα συνεργάζεται με SEMATECH μηχανικούς σε βασικά θέματα που αντιστέκονται σε ακραία υπεριώδους (EUV) λιθογραφία. Τομείς εστίασης θα περιλαμβάνουν:

  • Εργασίας για τη μείωση ή την εξάλειψη γραμμή τραχύτητα άκρο (LER) στη λιθογραφική εικόνες κάτω από τα 22 nm
  • Ανακαλύπτοντας την τελική λύση του νέου προσανατολισμού φωτοευαίσθητα υλικά
  • Δοκιμές διάφορα υλικά απεικόνισης για την ευαισθησία EUV

SEMATECH και JSR έχουν συνεργαστεί στο παρελθόν σε διάφορα προγράμματα ανάπτυξης της τεχνολογίας, συμπεριλαμβανομένων 300 γκοφρέτες δοκιμή mm, low-k ταινίες, και προηγμένες αντιστέκεται, όπως η διπλή υλικά έκθεσης.

«Έχουμε μια επιτυχημένη ιστορία της συνεργασία με SEMATECH και είμαστε ενθουσιασμένοι για να συνεχίσει ότι η ιστορία στον τομέα της EUV», δήλωσε ο Hozumi Σάτο, διευθύνων σύμβουλος της JSR Corporation, υπεύθυνος για την Έρευνα και την Ανάπτυξη. "Ο συνδυασμός των πόρων για τη δημιουργία επόμενης γενιάς της EUV υλικών δεν είναι μόνο καλό για JSR και SEMATECH, αλλά θα ωφελήσουν τον κλάδο στο σύνολό του."

"Ανυπομονούμε να συνεργαστούμε με JSR σε κοινή προσπάθεια μας για την ανάπτυξη αιχμής αντιστέκεται και υλικά, και να επιταχύνει τη διαθεσιμότητα της διαδικασίας για την κατασκευή πιλοτικών EUV γραμμή", δήλωσε ο John Warlaumont, αντιπρόεδρος της προηγμένης τεχνολογίας σε SEMATECH. "Επιτυχημένη εμπειρία μας σε προηγούμενες συνεργασίες μας θα συμβάλει τα μέγιστα στην αποτελεσματικότητα RMDC του."

"Η προσθήκη του JSR στο ρόστερ των παγκόσμιων εταιρειών στο Albany CNSE νανοτεχνολογικών Complex θα ενισχύσει περαιτέρω την SEMATECH-CNSE εταιρική σχέση στην οδήγηση καινοτομίες αιχμής νανοηλεκτρονικής», δήλωσε ο Richard Brilla, CNSE Αντιπρόεδρος για συμμαχίες στρατηγικής, και Κοινοπραξίες. "Η συνεργασία αυτή, καθίσταται δυνατή η πρόοδος σε μια σειρά από τεχνολογίες, συμπεριλαμβανομένης της λιθογραφία EUV, που είναι κρίσιμα για τη βιομηχανία."

Πηγή: http://www.sematech.org/

Last Update: 3. October 2011 15:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit