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La Colaboración de JSR con las Ayudas de SEMATECH Para Impulsar las Innovaciones de Nanoelectronics

Published on May 12, 2010 at 7:42 AM

SEMATECH, un consorcio global de fabricantes de chips, y JSR Corporation, surtidor de los materiales avanzados a los fabricantes de chips y a otros, y su operación de los E.E.U.U., JSR Micro, Inc. anunciaron hoy que ha sentido bien a la más nueva pieza de SEMATECH Resiste los Materiales y el Centro de Desarrollo (RMDC) en la Universidad de la Ciencia y de la Ingeniería (CNSE) de Nanoscale de la Universidad en Albany.

JSR colaborará con los representantes técnicos de SEMATECH en clave resiste ediciones en litografía ultravioleta (EUV) extrema. Las áreas del Enfoque incluirán:

  • El Trabajo para reducir o para eliminar la línea orla tosquedad (LER) en imágenes litográficas debajo de 22 nanómetro
  • Descubrimiento de la resolución final de fotoprotecciones nuevamente formuladas
  • Diversos materiales De Prueba de la proyección de imagen para la sensibilidad de EUV

SEMATECH y JSR partnered previamente en varios programas de revelado de tecnología, incluyendo los fulminantes de la prueba de 300 milímetros, las películas inferiores-k, y avance resiste, incluyendo los materiales de la exposición doble.

“Tenemos una historia acertada de la sociedad con SEMATECH y nos excitan para continuar esa historia en el campo de EUV,” dijo a Hozumi Sato, director de gerente de JSR Corporation, responsable de la Investigación y desarrollo. “Combinar recursos para crear la generación siguiente de materiales de EUV es no sólo bueno para JSR y SEMATECH, pero beneficiará a la industria en conjunto.”

“Estamos observando hacia adelante al trabajo con JSR en nuestro esfuerzo mutuo de desarrollar marginal nos oponemos y los materiales, y aceleramos la disponibilidad de proceso para la línea experimental fabricación de EUV,” dijo a Juan Warlaumont, vicepresidente de la Tecnología Avanzada en SEMATECH. “Nuestra experiencia acertada en nuestras sociedades anteriores contribuirá grandemente a la eficacia de RMDC.”

“La adición de JSR a la lista de personal de compañías globales en el Complejo de Albany NanoTech de CNSE aumentará más lejos la sociedad de SEMATECH-CNSE en impulsar innovaciones marginales del nanoelectronics,” dijo a Richard Brilla, Vicepresidente de CNSE para la Estrategia, las Alianzas y los Consorcios. “Esta colaboración está activando avances en un ordenador principal de las tecnologías, incluyendo la litografía de EUV, que son críticas a la industria.”

Fuente: http://www.sematech.org/

Last Update: 12. January 2012 09:00

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