Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Сотрудничество JSR с Помощью SEMATECH для того чтобы Управлять Рационализаторствами Nanoelectronics

Published on May 12, 2010 at 7:42 AM

SEMATECH, глобальный консорциум чипмейкеров, и JSR Корпорация, поставщик предварительных материалов к производителям компьютерных чипов и другим, и своя деятельность США, JSR Микро-, Inc. объявили сегодня что шло самым новым членом SEMATECH Сопротивляет Материалам и Разрабатывающей Организации (RMDC) на Коллеже Науки Nanoscale и Инджиниринга (CNSE) Университета на Albany.

JSR сотрудничает с инженерами SEMATECH на ключе сопротивляет вопросам в весьма ультрафиолетов (EUV) литографировании. Зоны Фокуса включат:

  • Работа для уменьшения или для того чтобы исключить линии окаймляет шершавость (LER) в литографских изображениях под 22 nm
  • Открывать типичное разрешение заново сформулированных фоторезистов
  • Испытывая различные материалы воображения для чувствительности EUV

SEMATECH и JSR были партнером ранее в нескольких программ развития технологии, включая вафли испытания 300 mm, низкие-k фильмы, и выдвинуто сопротивляет, включая материалы двойной экспозиции.

«Мы имеем успешную историю партнерства с SEMATECH и мы возбуждены для того чтобы продолжать ту историю в поле EUV,» сказал Hozumi Sato, управляющий директор JSR Корпорации, ответственный для Научных Исследований и Разработки. «Совмещать ресурсы для того чтобы создать следующее поколени материалов EUV не только хорош для JSR и SEMATECH, но поможет индустрии в целом.»

«Мы смотрим вперед к работе с JSR в нашем взаимном усилии начать ведущую кромку сопротивляем и материалы, и ускоряем ход отростчатого наличия для линии изготавливания EUV пилотной,» сказал Джон Warlaumont, недостаток - президент Передовой Технологии на SEMATECH. «Наш успешный опыт в наших предыдущих партнерствах способствует значительно к эффективности RMDC.»

«Добавление JSR к списку глобальных компаний на Комплексе Albany NanoTech CNSE более добавочно увеличит партнерство SEMATECH-CNSE в управлять рационализаторствами nanoelectronics ведущей кромки,» сказал Ричард Brilla, Недостаток CNSE - Президент для Стратегии, Союзничеств и Консорциумов. «Это сотрудничество включает выдвижения в хозяина технологий, включая литографирование EUV, которые критические к индустрии.»

Источник: http://www.sematech.org/

Last Update: 12. January 2012 22:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit