JSRS Samarbete med SEMATECH-Hjälp som Kör Nanoelectronics Innovationer

Published on May 12, 2010 at 7:42 AM

SEMATECH, en global konsortium av chipmakers och JSR Korporation, en avancerad materialleverantör till gå i flisor-tillverkare och andra och dess U.S.-funktion, JSR Mikro, Inc. meddelade i dag att det har blivit den nyaste medlemmen av SEMATECH Motstår Material och Utveckling Centrerar (RMDC) på Högskolan av Nanoscale Vetenskap och att Iscensätta (CNSE) av Universitetar på Albany.

Ska JSR samarbetar med SEMATECH iscensätter på nyckel- motstår utfärdar i ytterlighetultraviolet (EUV)lithography. Fokusera ska områden inkluderar:

  • Arbetet som ska förminskas eller avlägsnas, fodrar kantar roughness (LER) i lithographic avbildar nedanföra 22 nm
  • Upptäckt av ultimat upplösning av nyligen formulerade photoresists
  • Testa olika avbilda material för EUV-känslighet

SEMATECH och JSR har blivit partner med föregående i flera program för teknologiutveckling, testar en mm däribland 300 rån som är låga-K filmar, och avancerat motstår, däribland dubbla exponeringsmaterial.

”Har Vi en lyckad historia av partnerskap med SEMATECH, och vi är upphetsada att fortsätta den historia i sätta in av EUV,”, sade Hozumi Sato, disponent av JSR Korporation, ansvariga för Forskningen och Utvecklingen. ”Är ska Kombination av resurser för att skapa nästa generation av EUV-material inte endast bra för JSR och SEMATECH, men gynnar branschen i sin helhet.”,

”Ser Vi framåtriktat till arbetet med JSR i vårt ömsesidiga försök att framkalla framkanten motstår och material och accelererar processaa tillgänglighet för pilot- EUV fodrar fabriks-,”, sade John Warlaumont, vicepresident av Avancerad Teknologi på SEMATECH. ”Erfar Vårt lyckat i våra ska föregående partnerskap bidrar väldeliga till RMDCS effektivitet.”,

”Förhöjer tillägget av JSR till rosteren av globala företag på CNSES det Albany NanoTech Komplex som vidare ska, SEMATECH--CNSEpartnerskap, i körning av framkantnanoelectronicsinnovationer,”, sade Richard Brilla, CNSE-Vicepresidentet för Strategi, Allianser och Konsortier. ”Möjliggör Detta samarbete framflyttningar i en vara värd av teknologier, inklusive EUV-lithography, som är kritiska till bransch.”,

Källa: http://www.sematech.org/

Last Update: 26. January 2012 03:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit