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Posted in | MEMS - NEMS

अपसला विश्वविद्यालय से आदेश सिलिकॉन DRIE Tegal उपकरण

Published on May 19, 2010 at 7:22 AM

Tegal निगम (Nasdaq: TGAL) उन्नत MEMS, बिजली आईसीएस और optoelectronic उपकरणों के निर्माण के लिए विशेष उत्पादन के समाधान के एक प्रर्वतक, आज की घोषणा की है यह एक Tegal 110 / एस डे अपसला विश्वविद्यालय से DRIE उपकरण के लिए एक आदेश प्राप्त हुआ है.

Tegal 110 / एस डे DRIE उपकरण अपसला विश्वविद्यालय Angstrom microstructure प्रयोगशाला में स्थापित किया जाएगा, अपसला, स्वीडन में स्थित है. Angstrom प्रयोगशाला सामग्री विज्ञान के लिए यूरोप के सबसे उन्नत प्रयोगशालाओं में से एक का गठन किया है, और नॉर्डिक देशों में सबसे बड़ा विश्वविद्यालय साफ कमरे है.

यह पहली बार Tegal DRIE ग्राहक से सिलिकॉन DRIE उपकरण आदेश Tegal द्वारा अपसला विश्वविद्यालय है, जो दोनों सिलिकॉन DRIE और ढांकता हुआ DRIE अनुप्रयोगों द्वारा एक पूरी तरह से प्रतिस्पर्धी मूल्यांकन प्रक्रिया के बाद सुरक्षित था.

"हम बहुत खुश हैं एक Tegal 110 / एस डे अपसला विश्वविद्यालय से DRIE उपकरण के लिए इस आदेश प्राप्त हुआ है. Yannick Pilloux, DRIE उत्पाद पर प्रबंधक ने कहा कि विश्वविद्यालय और Angstrom microstructure प्रयोगशाला, एक अग्रणी अनुसंधान संस्थान के रूप में एक लंबा और विशिष्ट इतिहास है, और अपसला करने के लिए महत्वपूर्ण हित आज के अनुसंधान के क्षेत्रों के एक संख्या में अत्याधुनिक काम प्रदर्शन जारी Tegal निगम. "दोनों सिलिकॉन DRIE और ढांकता हुआ DRIE में हमारी ताकत के साथ, और एक ही प्रक्रिया कक्ष में दोनों अनुप्रयोगों की पेशकश के द्वारा अग्रणी, हम अपसला इस उपकरण DRIE अवसर के लिए मांग की तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा करने और अपसला रास्ते उत्कृष्ट मूल्य दे कर किया गया है."

Tegal 110 / एस डे DRIE प्रणाली उच्च घनत्व प्लाज्मा खोदना उपकरण की विशेषता एक उपपादन द्वारा मिलकर प्लाज्मा नक़्क़ाशी रिएक्टर और चुंबकीय प्लाज्मा कारावास है. सुपर उच्च पहलू अनुपात प्रक्रिया, उत्पादन वातावरण में सुविधा पहलू etched अनुपात 100:1> को प्राप्त करने के उपकरण है Tegal पेटेंट SHARP चला सकते हैं. Tegal 110 एस / नक़्क़ाशी, एक ही प्रक्रिया के चैम्बर में डे प्रणाली excels, सिलिकॉन (एस) और ढांकता हुआ फिल्मों (डे) MEMS / MOEMS, जैव तकनीक, और उच्च वोल्टेज बाजार में पाया. Tegal DRIE उपकरण वर्तमान में दुनिया भर में कई अनुसंधान और विकास प्रयोगशालाएं में कार्यरत, दोनों वाणिज्यिक और शैक्षिक अनुसंधान कार्यक्रमों में आकर्षक है, और भी MEMS ढलाई और अन्य समर्पित वाणिज्यिक उच्च मात्रा दुनिया व्यापक विनिर्माण लाइनों में पाया.

स्रोत: http://www.tegal.com/

Last Update: 9. October 2011 04:19

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