Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Oxford Instruments Εισάγει PlasmaPro NGP80 Σύστημα

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Ένας ηγέτης σε εργαλεία για etch, εναπόθεση και την ανάπτυξη, την Oxford Instruments μόλις ξεκίνησε PlasmaPro σύστημα της NGP80. Ένα μικρό open-φόρτωσης εργαλείο, PlasmaPro NGP80 προσφέρει πολύπλευρη πλάσμα χαράζει και λύσεις εναπόθεση σε μια πλατφόρμα με την άνετη ανοιχτή φόρτωσης.

Μικρό σύστημα αποτύπωμα του είναι εύκολο να τόπου και εύκολη στη χρήση, χωρίς κανένα συμβιβασμό στην ποιότητα της διαδικασίας, και με πολλαπλές διαμορφώσεις τεχνολογία επεξεργασίας. Η NGP80 PlasmaPro είναι ιδανική για Ε & Α ή μικρής κλίμακας παραγωγή, και μπορεί να επεξεργαστεί από το μικρότερο κομμάτια γκοφρέτα έως 200mm wafers. Η ανοικτή σχεδίαση φορτίο επιτρέπει τη γρήγορη πλακιδίων φόρτωσης και εκφόρτωσης, ιδανικό για την έρευνα, την προτυποποίηση και περιορισμένου όγκου παραγωγής. Άλλα βασικά χαρακτηριστικά του NGP80 PlasmaPro είναι τα τελευταία BUS γενιά του συστήματος ελέγχου, που αυξάνει σε μεγάλο βαθμό τα δεδομένα ανάκτησης και προσφέρει ταχύτερη και επαναλήψιμα αντιστοίχιση, και η σαφής η ευκολία πρόσβασης σε βασικές συνιστώσες για τη βελτίωση της εξυπηρέτησης και της συντήρησης.

Οι πολλαπλές διαμορφώσεις για την προσφορά, RIE, PECVD, ICP & RIE / PE σημαίνει ότι NGP80 προσφέρει μια λύση για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, συμπεριλαμβανομένων των III-V etch διαδικασίες, Silicon Bosch και κρυο-etch διαδικασίες, Diamond Like Carbon (DLC) εναπόθεση , SiO2 και etch χαλαζία, σκληρές εναποθέσεις μάσκα και χαράξτε για υψηλής φωτεινότητας LED παραγωγής και πολλά άλλα.

Η Νανοκλίμακα Φυσικής Ερευνητικό Εργαστήριο στο Birmingham University έχει δοκιμής του NGP80 για πάνω από ένα χρόνο, χρησιμοποιώντας το εργαλείο για την έρευνα στην ανάπτυξη νέων φωτο-αντιστέκεται για την επόμενη γενιά λιθογραφία, και την κατασκευή των υψηλής εκπομπής πυριτίου πτυχή αναλογία με βάση τον τομέα.

Ο Δρ Alex Robinson είναι επικεφαλής της έρευνας και ήταν εξαιρετικά ικανοποιημένος με τα αποτελέσματα NGP80 PlasmaPro, "Η PlasmaPro NGP80 έχει ενισχύσει σημαντικά τις δυνατότητές μας χαρακτική. Το νέο λογισμικό είναι πολύ απλό να μάθετε, αλλά επιτρέπει σημαντική ευελιξία για την κατασκευή πολύπλοκες διαδικασίες. Εξαιρετική επαναληψιμότητα μαζί με πλήρη καταγραφή των παραμέτρων επέτρεψαν μια ταχεία μεταβίβαση της είχε προηγουμένως αναπτύξει μέτρα για την κατασκευή του νέου μηχανήματος, της εδραίωσης της εργασίας που είχαν γίνει σε πολλές διαφορετικές χαράκτες, ενώ η ευελιξία και η ευκολία χρήσης μας επέτρεψαν να αναπτύξει την έρευνα μας σε νέες κατευθύνσεις. "

Ο εξοπλισμός που αγοράστηκε μέσω της AM1 έργου: Δημιουργία και Χαρακτηρισμός Επόμενης Γενιάς των υλικών προηγμένης τεχνολογίας. Το έργο αυτό είναι μέρος μιας σημαντικής επένδυσης σε υποδομές έρευνας που χρηματοδοτούνται από το Advantage West Midlands και το Ευρωπαϊκό Ταμείο Περιφερειακής Ανάπτυξης (ΕΤΠΑ) στο πλαίσιο της ευρύτερης Birmingham Science Πόλη πρωτοβουλία. Η επένδυση έχει ενώσει τα πανεπιστήμια του Μπέρμιγχαμ και Warwick σε μια νεοσυσταθείσα Πόλη Συμμαχίας Έρευνας Επιστήμης για την προώθηση της καινοτομίας στην περιφέρεια.

Διευθυντής Πωλήσεων OIPT, Mark Vosloo, λέει ότι η έναρξη είναι εξαιρετικά θετική τόσο για OIPT και τους πελάτες της, «Ως εταιρεία είμαστε δεσμευμένοι στην συνεχή καινοτομία προϊόντων, προκειμένου να προσφέρουμε στους πελάτες μας τις πλέον πρόσφατες τεχνικές διαδικασίας και των συστημάτων στον etch, εναπόθεση και την ανάπτυξη . NGP80 έχει αναπτυχθεί για να διευκολύνει την ταχύτερη διακίνηση, και μεγαλύτερη επαναληψιμότητα σε μειωμένο κόστος για τον πελάτη. Με τόσο επιτυχείς δοκιμές στο Birmingham University πλέον ολοκληρωθεί, είμαστε σίγουροι ότι οι πελάτες μας θα βρουν το NGP80 PlasmaPro, Next Generation Plasma εργαλείο ζει μέχρι στο όνομά του. "

Οξφόρδη μέσα αποσκοπεί να συνεχίσει υπεύθυνη ανάπτυξη και βαθύτερη κατανόηση του κόσμου μέσω της επιστήμης και της τεχνολογίας, και αυτή η τελευταία καινοτομία των προϊόντων και συνεργασία με έναν κορυφαίο πανεπιστήμιο έρευνα ενισχύει αυτό.

Last Update: 9. October 2011 09:23

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit