Les Instruments d'Oxford Introduit le Système de PlasmaPro NGP80

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Une amorce dans des outils pour gravure à l'eau forte, le dépôt et l'accroissement, Instruments d'Oxford a juste lancé son système de PlasmaPro NGP80. Un outil compact d'ouvert-charge, gravure à l'eau forte de plasma d'offres de PlasmaPro NGP80 et solutions versatiles de dépôt sur une plate-forme avec la charge ouverte pratique.

Il est facile situer Son système d'encombrement réduit et facile à utiliser, sans la compromission sur la qualité de processus, et avec des configurations multiples de technologie de la transformation. Le PlasmaPro NGP80 est idéalement adapté à la R&D ou à la production à petite échelle, et peut traiter des plus petites pièces de disque aux disques de 200mm. Le design ouvert de charge permet la charge rapide et le déchargement de disque, les idéaux pour la recherche, le prototypage et la production à faible volume. D'Autres fonctionnalités clé du PlasmaPro NGP80 sont le dernier système de contrôle de BARRE OMNIBUS de rétablissement, cela augmente grand l'extraction de données et fournit apparier plus rapide et plus reproductible, et la facilité dégagée de l'accès aux éléments clé pour l'entretien et la maintenance améliorés.

Les multiples configurations en vente, moyen de RIE, de PECVD, d'ICP et de RIE/PE que NGP80 offre une solution pour un large éventail d'applications, y compris les procédés gravure à l'eau forte d'III-V, le Silicium Bosch et les procédés de cryo-gravure à l'eau forte, Diamant Comme le dépôt (DLC) de Carbone, gravure à l'eau forte de SiO2 et de quartz, le dépôt dur de masque et gravure à l'eau forte pour la production et beaucoup plus de l'intense luminosité LED.

Le Laboratoire de Recherche de Physique de Nanoscale à l'Université de Birmingham trialling le NGP80 pendant plus d'une année, utilisant l'outil pour rechercher le développement des vernis photosensibles neufs pour la lithographie de prochain rétablissement, et la fabrication des émetteurs basés de gisement de silicium élevé de rapport hauteur/largeur.

M. Alex Robinson dirige la recherche et a été extrêmement satisfait avec les résultats de PlasmaPro NGP80, « Le Plasmapro NGP80 a sensiblement amélioré nos capacités gravure. Le logiciel neuf est très simple pour apprendre, mais pour permettre la souplesse considérable d'établir des procédés complexes. L'Excellente répétabilité avec l'enregistrement de paramètre complet ont activé un transfert rapide des phases précédemment développées de fabrication à la machine neuve, consolidant le travail précédemment effectué sur plusieurs différents etchers, tandis que la souplesse et la simplicité d'utilisation nous ont permises de développer notre recherche dans des sens neufs. »

Le matériel a été acheté par le projet AM1 : Produisant et Caractérisant le Prochain Rétablissement des Matériaux Avancés. Ce projet fait partie d'un investissement important dans la recherche financée au titre de l'infrastructure par les Midlands de l'Ouest d'Avantage et le Fonds Européen De Développement Régional (ERDF) Sous l'initiative plus large de Ville de la Science de Birmingham. L'investissement a uni les Universités de Birmingham et de Warwick dans une Alliance récemment formée de Recherches de Ville de la Science pour avancer l'innovation dans la région.

Le Directeur de Ventes pour OIPT, Note Vosloo, dit que le lancement est extrêmement positif pour les deux OIPT et ses abonnées, « Car une compagnie nous sommes commis à l'innovation produit constante afin d'offrir à nos abonnées les derniers techniques et systèmes de processus dans gravure à l'eau forte, le dépôt et l'accroissement. NGP80 a été développé pour permettre un débit plus rapide, et une répétabilité plus grande à un coût réduit à l'abonnée. Avec de tels essais réussis à l'Université de Birmingham maintenant complète, nous sommes confiants que nos abonnées trouveront le PlasmaPro NGP80, Prochain Rétablissement que l'outil de Plasma vit jusqu'à son nom. »

Les Instruments d'Oxford vise à poursuivre le développement responsable et la compréhension plus profonde du monde par la Science et Technologie, et ces dernières innovation produit et collaboration avec une principale université de recherches renforce ceci.

Last Update: 12. January 2012 00:54

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