ऑक्सफोर्ड उपकरण PlasmaPro NGP80 सिस्टम परिचय

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

खोदना बयान, और विकास के लिए उपकरण में एक नेता, ऑक्सफोर्ड उपकरण सिर्फ अपनी PlasmaPro NGP80 प्रणाली की शुरूआत की है. एक कॉम्पैक्ट खुला लोड हो रहा है उपकरण, PlasmaPro NGP80 सुविधाजनक खुला लोड हो रहा है के साथ एक मंच पर बहुमुखी प्लाज्मा खोदना और बयान समाधान प्रदान करता है.

अपने छोटे पदचिह्न सिस्टम साइट के लिए आसान है और उपयोग करने के लिए आसान है, प्रक्रिया गुणवत्ता पर कोई समझौता नहीं के साथ, और एकाधिक प्रक्रिया प्रौद्योगिकी विन्यास के साथ. PlasmaPro NGP80 आदर्श आर एंड डी या छोटे पैमाने पर उत्पादन के लिए अनुकूल है, और छोटी वफ़र टुकड़े से 200mm वेफर्स प्रक्रिया कर सकते हैं. खुला लोड डिजाइन तेजी से वफ़र की अनुमति देता है, लदान और उतराई, अनुसंधान, प्रोटोटाइप, और कम मात्रा में उत्पादन के लिए आदर्श. PlasmaPro NGP80 अन्य प्रमुख विशेषताओं का नवीनतम पीढ़ी बस नियंत्रण प्रणाली, कि बहुत डेटा पुनर्प्राप्ति बढ़ जाती है और तेजी से और अधिक repeatable मिलान उद्धार और सुधार सर्विसिंग और रखरखाव के लिए प्रमुख घटकों के लिए उपयोग की स्पष्ट आराम कर रहे हैं.

प्रस्ताव पर एकाधिक विन्यास, आर.आई.ई., PECVD आईसीपी, और / आर.आई.ई. पीई मतलब है कि NGP80 III-V खोदना प्रक्रियाओं, सिलिकॉन बॉश और क्रायो - खोदना प्रक्रियाओं, कार्बन बयान (DLC) की तरह डायमंड सहित अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए एक समाधान प्रदान करता है SiO2 और खोदना क्वार्ट्ज, हार्ड मुखौटा बयान और उच्च चमक के लिए खोदना उत्पादन और कई और अधिक का नेतृत्व किया.

नेनो पैमाने बर्मिंघम विश्वविद्यालय में भौतिकी अनुसंधान प्रयोगशाला के लिए एक वर्ष से अधिक किया गया है NGP80 trialling, उपकरण का उपयोग करने के लिए विकास के नए अगली पीढ़ी लिथोग्राफी के लिए फोटो तैयार अनुसंधान, और उच्च पहलू अनुपात सिलिकॉन आधारित क्षेत्र emitters के निर्माण.

Plasmapro NGP80 काफी डॉ एलेक्स रॉबिन्सन अनुसंधान बढ़ रहा है और अत्यंत PlasmaPro NGP80 परिणाम के साथ खुश किया गया है "हमारे नक़्क़ाशी क्षमताओं को बढ़ाया है नए सॉफ्टवेयर बहुत सरल है जानने के लिए, लेकिन काफी लचीलापन देता है जटिल प्रक्रियाओं के निर्माण. एक साथ उत्कृष्ट repeatability के के साथ व्यापक लॉगिंग पैरामीटर नई मशीन के लिए पहले विकसित निर्माण कदम की एक तेजी से हस्तांतरण सक्षम है, पहले कई अलग अलग etchers पर काम मजबूत, whilst लचीलापन और उपयोग में आसानी है हमें नई दिशाओं में हमारे अनुसंधान को विकसित करने के लिए अनुमति दी. "

यंत्र AM1 परियोजना के माध्यम से खरीदा गया था: बनाना और उन्नत सामग्री की अगली पीढ़ी Characterising. इस परियोजना के व्यापक बर्मिंघम साइंस सिटी पहल के तहत लाभ वेस्ट मिडलैंड्स और यूरोपीय क्षेत्रीय विकास कोष (ERDF) द्वारा वित्त पोषित अनुसंधान के बुनियादी ढांचे में एक प्रमुख निवेश का हिस्सा है. निवेश एक नवगठित साइंस सिटी रिसर्च एलायंस में बर्मिंघम और वारविक विश्वविद्यालय एकजुट क्षेत्र के भीतर नवाचार अग्रिम.

OIPT, मार्क Vosloo, के लिए बिक्री के निदेशक का कहना है कि प्रक्षेपण दोनों OIPT और अपने ग्राहकों के लिए बेहद सकारात्मक है, हम लगातार उत्पाद नवाचार करने के लिए प्रतिबद्ध हैं क्रम में हमारे ग्राहकों को नवीनतम प्रक्रिया खोदना बयान, और विकास में तकनीक और प्रणालियों की पेशकश एक कंपनी के रूप में " NGP80 तेजी throughput, और ग्राहकों के लिए एक कम कीमत पर अधिक से अधिक repeatability की अनुमति विकसित किया गया है बर्मिंघम अब पूरा विश्वविद्यालय में ऐसे सफल परीक्षण के साथ, हम विश्वास है कि हमारे ग्राहकों PlasmaPro NGP80 मिल जाएगा रहे हैं, अगली पीढ़ी प्लाज्मा उपकरण रह रही है इसके नाम के लिए. "

ऑक्सफोर्ड उपकरण के लिए जिम्मेदार विकास और विज्ञान और प्रौद्योगिकी के माध्यम से दुनिया की गहरी समझ का पीछा करना, और इस नवीनतम उत्पाद नवीनता और एक अग्रणी अनुसंधान विश्वविद्यालय के साथ सहयोग पुष्ट.

Last Update: 8. October 2011 22:42

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