Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Oxford Instruments introduceert PlasmaPro NGP80 System

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Een leider in gereedschappen voor het etsen, depositie en groei, Oxford Instruments heeft net gestart met haar PlasmaPro NGP80 systeem. Een compacte open-laden tool, PlasmaPro NGP80 biedt veelzijdige plasma-etsen en depositie oplossingen op een platform met handige open laadbak.

Zijn kleine footprint systeem is eenvoudig te site en makkelijk te gebruiken, zonder compromissen op het proces van de kwaliteit, en met meerdere procestechnologie configuraties. De PlasmaPro NGP80 is bij uitstek geschikt voor R & D of kleinschalige productie, en kan van de kleinste wafer stukken proces 200mm wafers. De open laadbak ontwerp maakt een snelle wafer laden en lossen, ideaal voor onderzoek, prototyping en laag-volume productie. Andere belangrijke kenmerken van de PlasmaPro NGP80 zijn de nieuwste generatie BUS-systeem, dat verhoogt het ophalen van gegevens en levert sneller en herhaalbare matching, en de duidelijke gemak van toegang tot de belangrijkste componenten voor een betere service en onderhoud.

De meervoudige configuraties op te bieden, RIE, PECVD, ICP & RIE / PE betekenen dat NGP80 een oplossing biedt voor een breed scala aan toepassingen, waaronder III-V etch processen, Silicon Bosch en cryo-etch processen, Diamond Like Carbon (DLC) depositie , SiO2 en kwarts etsen, harde masker depositie en etsen voor een hoge helderheid LED-productie en nog veel meer.

De Nanoschaal Physics Research Laboratory van de Universiteit van Birmingham is de proef met NGP80 meer dan een jaar, met behulp van het gereedschap om de ontwikkeling van nieuwe fotoresists voor de volgende generatie lithografiemachines onderzoek, en de fabricage van high aspect ratio silicium gebaseerde veld emitters.

Dr Alex Robinson is het onderzoek kop en is uitermate tevreden met de PlasmaPro NGP80 resultaten, "De Plasmapro NGP80 is aanzienlijk verbeterd onze ets mogelijkheden. De nieuwe software is zeer eenvoudig te leren, maar laat een grote flexibiliteit op te bouwen complexe processen. Excellent herhaalbaarheid samen met uitgebreide parameter te loggen in staat hebben gesteld een snelle overdracht van eerder ontwikkelde fabricage stappen om de nieuwe machine, de consolidatie van het werk eerder heeft gedaan op verschillende etsers, terwijl de flexibiliteit en het gebruiksgemak hebben ons aan ons onderzoek te ontwikkelen in nieuwe richtingen. "

De apparatuur is aangeschaft door de AM1 project: maken en Karakterisering Next Generation of Advanced Materials. Dit project maakt deel uit van een grote investering in de onderzoeksinfrastructuur gefinancierd door Advantage West Midlands en het Europees Fonds voor Regionale Ontwikkeling (EFRO) in het kader van de bredere Birmingham Science City initiatief. De investering heeft verenigde de universiteiten van Birmingham en Warwick in een nieuw gevormde Science City Research Alliance aan innovatie voorschot binnen de regio.

Sales Director voor OIPT, Mark Vosloo, zegt de lancering is zeer positief voor zowel OIPT en haar klanten, "Als een bedrijf zijn we toegewijd aan constante productinnovatie om onze klanten de nieuwste proces technieken en systemen in etch, depositie en de groei . NGP80 is ontwikkeld om snellere doorvoer, en grotere herhaalbaarheid tegen een gereduceerde kosten voor de klant mogelijk te maken. Met een dergelijke succesvolle proeven in Birmingham University nu compleet, we zijn ervan overtuigd dat onze klanten de PlasmaPro NGP80 te vinden, is de volgende generatie Plasma hulpmiddel waarmaken op zijn naam. "

Oxford Instruments heeft tot doel na te streven verantwoorde ontwikkeling en dieper begrip van de wereld door Wetenschap en Technologie, en deze laatste productinnovatie en samenwerking met een vooraanstaande researchuniversiteit versterkt deze.

Last Update: 9. October 2011 09:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit