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Os Instrumentos de Oxford Introduzem o Sistema de PlasmaPro NGP80

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Um líder nas ferramentas para gravura em àgua forte, o depósito e o crescimento, Instrumentos de Oxford apenas lançou seu sistema de PlasmaPro NGP80. Uma ferramenta compacta da aberto-carga, das ofertas de PlasmaPro NGP80 gravura em àgua forte do plasma e soluções versáteis do depósito em uma plataforma com carga aberta conveniente.

Seu sistema pequeno da pegada é fácil de situar e fácil de usar, sem o acordo na qualidade do processo, e com configurações múltiplas da tecnologia de processamento. O PlasmaPro NGP80 é serido idealmente ao R&D ou à produção em escala reduzida, e pode processar das partes as menores da bolacha às bolachas de 200mm. O projecto aberto da carga permitem a carga rápida e o descarregamento da bolacha, os ideais para a produção da pesquisa, da prototipificação e do baixo-volume. Outras características chaves do PlasmaPro NGP80 são o sistema de controlo o mais atrasado do BARRAMENTO da geração, aquela aumenta extremamente a recuperação de dados e entrega uma harmonização mais rápida e mais repetível, e a facilidade clara do acesso aos componentes-chave para a conservação e a manutenção melhoradas.

As configurações múltiplas na oferta, o meio de RIE, de PECVD, de ICP & de RIE/PE que NGP80 oferece uma solução para uma vasta gama de aplicações, incluindo processos gravura em àgua forte de III-V, Silicone Bosch e processos da cryo-gravura em àgua forte, Diamante Como o depósito (DLC) do Carbono, gravura em àgua forte de SiO2 e de quartzo, depósito duro da máscara e gravura em àgua forte para a produção e o muito mais do DIODO EMISSOR DE LUZ do brilho alto.

O Laboratório de Investigação da Física de Nanoscale na Universidade de Birmingham trialling o NGP80 por sobre um ano, usando a ferramenta para pesquisar a revelação de fotoresistente novos para a litografia da próxima geração, e a fabricação do silicone alto do prolongamento baseou emissores do campo.

O Dr. Alex Robinson está dirigindo a pesquisa e foi extremamente satisfeito com os resultados de PlasmaPro NGP80, “O Plasmapro NGP80 aumentou significativamente nossas capacidades gravura a água-forte. O software novo é muito simples aprender, mas permitir a flexibilidade considerável construir processos complexos. A repetibilidade Excelente junto com o registo de parâmetro detalhado permitiu transferência rápida de etapas previamente desenvolvidas da fabricação à máquina nova, consolidando o trabalho feito previamente diversos etchers diferentes, enquanto a flexibilidade e a acessibilidade permitiram que nós desenvolvam nossa pesquisa em sentidos novos.”

O equipamento foi comprado com o projecto AM1: Criando e Caracterizando a Próxima Geração de Materiais Avançados. Este projecto é parte de um investimento principal na infra-estrutura da pesquisa financiada pela Vantagem West Midlands e no Fundo de Revelação Regional Européia (ERDF) sob a iniciativa mais larga da Cidade da Ciência de Birmingham. O investimento uniu as Universidades de Birmingham e de Warwick em uma Pesquisa recentemente formada Alliance da Cidade da Ciência para avançar a inovação dentro da região.

O Director de Vendas para OIPT, Mark Vosloo, diz que o lançamento é extremamente positivo para ambos os OIPT e seus clientes, “Porque uma empresa nós somos comprometidos à inovação de produto constante a fim oferecer a nossos clientes as técnicas e os sistemas os mais atrasados do processo gravura em àgua forte, no depósito e no crescimento. NGP80 foi desenvolvido para permitir uma produção mais rápida, e a maior repetibilidade a custo reduzido ao cliente. Com tais experimentações bem sucedidas na Universidade de Birmingham agora completa, nós estamos seguros que nossos clientes encontrarão o PlasmaPro NGP80, Próxima Geração a ferramenta do Plasma que está vivendo até seu nome.”

Os Instrumentos de Oxford apontam levar a cabo a revelação responsável e uma compreensão mais profunda do mundo com a Ciência e a Tecnologia, e estas inovação e colaboração as mais atrasadas de produto com uma universidade principal da pesquisa reforçam esta.

Last Update: 12. January 2012 07:36

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