Аппаратуры Оксфорда Вводят Систему PlasmaPro NGP80

Published on June 1, 2010 at 9:05 PM

Руководитель в инструментах для etch, низложения и роста, Аппаратур Оксфорда как раз запускал свою систему PlasmaPro NGP80. Компактный инструмент открыт-нагрузки, предложения PlasmaPro NGP80 etch плазмы разносторонние и разрешения низложения на одной платформе с удобной открытой нагрузкой.

Своя малая система следа ноги легка для того чтобы расположить и легко для использования, без компромисса на отростчатом качестве, и с множественными конфигурациями технологического прочесса. PlasmaPro NGP80 идеально одето к R&D или мелкомасштабной продукции, и может обрабатывать от самых малых частей вафли к вафлям 200mm. Открытая конструкция нагрузки позволяют быстрой нагрузке и разгржать вафли, идеально для продукции исследования, прототипирования и низк-тома. Другие главные особенности PlasmaPro NGP80 самая последняя система управления ШИНЫ поколения, то значительно увеличивает поиск данных и поставляет более быстрый и более repeatable соответствовать, и ясная легкость доступа к ключевым компонентам для улучшенные обслуживать и обслуживания.

Множественные конфигурации на предложении, середине RIE, PECVD, ICP & RIE/PE что NGP80 предлагает разрешение для широкого диапазона применений, включая процессы etch III-V, Кремний Bosch и процессы cryo-etch, Диамант Как низложение (DLC) Углерода, etch SiO2 и кварца, трудное низложение маски и etch для продукции и еще многие СИД высокой яркости.

Исследовательская Лабаратория Физики Nanoscale на Университете Бирмингам trialling NGP80 на сверх год, используя инструмент для того чтобы исследовать развитие новых фоторезистов для литографирования следующего поколени, и изготовление высокого кремния коэффициента сжатия основало излучатели поля.

Др. Алекс Робинсон возглавляет исследование и весьма довольный с результатами PlasmaPro NGP80, «Plasmapro NGP80 значительно увеличивал наши возможности вытравливания. Новое ПО очень просто выучить, только позволить значительную гибкость построить сложные процессы. Превосходная повторимость вместе с всесторонний вносить в журнал параметра включала быстрый переход ранее начатых шагов изготовления к новой машине, консолидируя работу ранее сделанную на нескольких различных etchers, пока гибкость и легкий в использовании позволяли нам начать наше исследование в новых направлениях.»

Оборудование было закуплено через проект AM1: Создающ и Характеризующ Следующее Поколени Предварительных Материалов. Этот проект часть главного облечения в инфраструктуре исследования фондированной Преимуществом Западными Midlands и Европейском Фонде Развития Регионального Развития (ERDF) под более широкой инициативой Города Науки Бирмингам. Облечение соединяло Университеты Бирмингам и Warwick в заново сформированном Союзничестве Исследования Города Науки для того чтобы выдвинуть рационализаторство в пределах зоны.

Директор По Сбыту для OIPT, Марк Vosloo, говорит что старт весьма положителен для обоих OIPT и своих клиентов, «По Мере Того Как компания мы поручены к постоянн рационализаторству продукта для того чтобы предложить нашим клиентам самые последние отростчатые методы и системы в etch, низложении и росте. NGP80 было начато для того чтобы позволить более быстрому объём, и большой повторимости на уменьшенной цене к клиенту. С такими успешными пробами на Университете Бирмингам теперь полном, мы уверенно что наши клиенты найдут PlasmaPro NGP80, Следующее Поколени инструмент Плазмы живет до своего имени.»

Аппаратуры Оксфорда направляют последовать ответственное развитие и более глубокое вникание мира через Науку и Технику, и эти самые последние рационализаторство и сотрудничество продукта с ведущим университетом исследования усиливают это.

Last Update: 12. January 2012 08:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit