SEMATECH Объявляет что Новое Сотрудничество, котор нужно Адресовать Сопротивляет Вопросам в Литографировании EUV

Published on June 3, 2010 at 7:35 AM

SEMATECH, глобальный консорциум чипмейкеров, и Материалы AZ Электронные, глобальный поставщик электронных материалов к индустриям полупроводника и плоского экрана, объявленные сегодня что Материалы AZ Электронные соединяли SEMATECH Сопротивляют Материалам и Разрабатывающей Организации (RMDC) на Коллеже Науки Nanoscale и Инджиниринга (CNSE) Университета на Albany.

AZ Электронные Материалы сотрудничают с инженерами SEMATECH на критическом сопротивляют вопросам в весьма ультрафиолетов (EUV) литографировании. Специфические области включают уменьшение или исключение линии шершавости края (LER) в изображениях под 22 nm; типичное разрешение новой сопротивляет; и материалы воображения испытания для чувствительности EUV.

«Наше партнерство с AZ Электронные Материалы помогут усилить способность RMDC адресовать критическое сопротивляет вопросам в предварительном воображении,» сказал Джон Warlaumont, недостаток - президент Передовых Технологий на SEMATECH. «Это новое сотрудничество иллюстрирует эффективность усилий SEMATECH включить более обширный ряд участников индустрии в поиске для новых разрешений к нашим общим возможностям технологии.»

«Соединять RMDC обеспечивает AZ возможность приложить наш underlayer ведущей кромки и технологии верхн-rinse к усилиям индустрии улучшить представление EUV,» сказал Geoff Одичалый, CEO AZ. «Мы предпологаем что польза материалов специальности «над и под» EUV сопротивляет поможет в разрешать некоторое из течения сопротивляет обрабатывать недостатки, и мы теперь можем испытать эти типы материалов на CNSE.»

«Добавление Материалов AZ Электронных более добавочно увеличит партнерство SEMATECH-CNSE и служить ускорить ход исследования ведущей кромки в технологии EUVL на Комплексе Albany NanoTech CNSE,» сказал Ричард Brilla, недостаток CNSE - президент для стратегии, союзничеств и консорциумов. «Это сотрудничество принимает преимущество мирового класса возможностей на UAlbany NanoCollege для того чтобы включить разрешения передовой технологии которые критические к индустрии.»

На RMDC, водя сопротивляйте и поставщики материалов участвуют в сфокусированном, кооперативном R&D с компаниями члена SEMATECH. Совместно, RMDC обеспечивает оборудование и экспертиза исследования необходима, что поставщиками материалов и компаниями члена начала EUV сопротивляет процессам которые соотвествуют строгий разрешению, шершавости ширины линии, и спецификациям чувствительности необходимо для ввода EUV на компаниях члена.

Источник: http://www.sematech.org/

Last Update: 11. January 2012 22:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit