SEMATECH Meddelar att Nytt Samarbete som ska Tilltalas Motstår Utfärdar i EUV-Lithography

Published on June 3, 2010 at 7:35 AM

SEMATECH, en global konsortium av chipmakers och Elektroniska Material för AZ, den globala leverantören av elektroniska material till branscherna för halvledare- och lägenhetpanelskärm, meddelade i dag, att Elektroniska Material för AZ har sammanfogat, SEMATECH Motstår Material, och Utveckling Centrerar (RMDC) på Högskolan av Nanoscale Vetenskap och att Iscensätta (CNSE) av Universitetar på Albany.

AZ som ska Elektroniska Material samarbetar med SEMATECH, iscensätter på avgörande motstår utfärdar i ytterlighetultraviolet (EUV)lithography. Specifika områden inkluderar förminskning, eller elimineringen av fodrar kantar roughness (LER) avbildar in nedanföra 22 nm; ultimat upplösning av nytt motstår; och testa avbilda material för EUV-känslighet.

”Motstår Vårt partnerskap med AZ som ska Elektroniska Material hjälper att förstärka RMDC'SENS kapacitet att tilltala kritiskt, utfärdar i avancerat avbilda,”, sade John Warlaumont, vicepresident av Avancerade Teknologier på SEMATECH. ”Illustrerar Detta nya samarbete effektiviteten av SEMATECHS försök att inkludera ett mer bred spänner av branschdeltagare i sökandet för nya lösningar till våra allmänningteknologiutmaningar.”,

”Ger när Du Sammanfogar RMDCEN AZ tillfället att applicera vår framkantunderlayer, och bästa-att skölja teknologier till branschförsöken att förbättra EUV-kapacitet,”, sade Wild Geoff, AZS VD. ”Förväntar Vi att bruket av nedanföra specialtymaterial ”som är ovannämnda och” EUVEN motstår ska bistår, i lösning någon av strömmen motstår att bearbeta ofullkomlighet, och vi nu kan testa dessa typer av material på CNSEN.”,

”Förhöjer tillägget av Elektroniska Material för AZ som vidare ska, SEMATECH--CNSEpartnerskap, och serven att accelerera framkantforskningen i EUVL-teknologi på CNSES det Albany NanoTech Komplex,”, sade Richard Brilla, CNSE-vicepresidentet för strategi, allianser och konsortier. ”Tar Detta samarbete fördel av deklassificera kapaciteterna på UAlbanyen NanoCollege för att möjliggöra avancerade teknologilösningar som är kritiska till bransch.”,

På RMDCEN som leder motstå, och materialleverantörer deltar, i fokuserat, kooperativR&D med SEMATECH-medlemföretag. Tillsammans ger RMDCEN maskinvaran, och forskningsakkunskap som krävs av materialleverantörer och medlemföretag för att framkalla EUV, motstår bearbetar som möter den stränga upplösningen, linewidthroughnessen och känslighetsspecifikationerna som behövs för EUV-införing på medlemföretag.

Källa: http://www.sematech.org/

Last Update: 26. January 2012 05:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit