Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

SEMATECH Announces New Pakikipagtulungan sa Address paglaban ng mga Isyu sa EUV litograpya

Published on June 3, 2010 at 7:35 AM

SEMATECH, isang pandaigdigang kasunduan ng chipmakers, at AZ Electronic Materyales, ang pandaigdigang supplier ng electronic materyales sa ang semiconductor at flat industriya panel display, inihayag ngayon na AZ Electronic Materyales ay sumali SEMATECH ng paglaban Materyales at Development Center (RMDC) sa ang College ng Nanoscale Agham at Engineering (CNSE) ng Unibersidad sa Albany.

AZ Electronic Materyales ay makipagtulungan sa mga inhinyero ng SEMATECH sa mahalaga mapaglabanan ang mga isyu sa matinding ultraviolet (EUV) litograpya. Tiyak na lugar kasama ang pagbabawas o pag-aalis ng line gilid pagkamagaspang (LER) sa imahe sa ibaba 22 nm; tunay na resolution ng bagong resists; at pagsubok ng imaging mga materyales para sa EUV pagiging sensitibo.

"Ang aming pakikipagtulungan sa AZ Electronic Materyales ay makatulong na palakasin ang kakayahan ng RMDC sa address ng mga kritikal na magtiis mga isyu sa advanced imaging," sabi ni John Warlaumont, vice president ng Advanced Technologies sa SEMATECH. "Ang bagong pakikipagtulungan na ito ay naglalarawan ng pagiging epektibo ng mga SEMATECH ng pagsisikap upang isama ang isang mas malawak na hanay ng mga kalahok sa industriya sa paghahanap para sa mga bagong solusyon sa aming karaniwang mga hamon ng teknolohiya."

"Sumasali ang RMDC ay nagbibigay AZ ng pagkakataon na mag-aplay ang aming nangungunang-gilid na pang-ilalim na sapin at top-banlawan teknolohiya upang ang mga pagsisikap ng industriya upang mapabuti ang EUV pagganap," sabi ni Geoff Wild, AZ ng CEO. "Inaasahan namin ang paggamit ng mga materyales espesyalidad 'sa itaas at ibaba' ang EUV resists ay aid sa paglutas ng ilang ng kasalukuyang paglaban processing shortcomings, at na namin ngayon sa pagsubok ang mga uri ng mga materyales sa CNSE."

"Ang karagdagan ng AZ Electronic Materyales ay karagdagang mapapabuti ang SEMATECH-CNSE pakikipagtulungan at maglingkod upang mapabilis ang mga nangungunang-gilid pananaliksik sa EUVL teknolohiya sa Albany NanoTech CNSE ng kumplikadong," sabi ni Richard Brilla, CNSE vice president para sa mga diskarte, ang mga alliances at consortia. "Ang collaboration na ito ay kumukuha ng bentahe ng sa mundo-class na mga kakayahan sa UAlbany NanoCollege upang paganahin ang mga advanced na mga solusyon sa teknolohiya na kritikal sa industriya."

Sa RMDC, nangungunang paglaban at materyales supplier na lumahok sa nakatutok, matulungin R & D sa mga kompanya ng miyembro ng SEMATECH. Sama-sama, ang RMDC ay nagbibigay ng hardware at kadalubhasaan ng pananaliksik na kinakailangan ng mga materyales supplier at miyembro ng mga kumpanya upang bumuo EUV mapaglabanan ang mga proseso na matugunan ang mahigpit na resolution, linewidth gaspang, at sensitibo pagtutukoy na kinakailangan para EUV insertion sa kumpanya miyembro.

Source: http://www.sematech.org/

Last Update: 9. October 2011 08:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit