Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal modtager supplerende Bestil fra EU-baserede MEMS Producent

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL) en fornyer af specialiseret produktion løsninger til fremstilling af avancerede MEMS, magt ICs og optoelektroniske anordninger, meddelte i dag, den har modtaget en ordre på en ekstra Tegal 4200 SE ™ Drie klynge værktøj proces-modul fra en førende EU -baserede leverandør af MEMS og Power IC-enheder.

Den Tegal 4200 SE Drie proces modul vil blive afsendt og installeret på kundens adresse i det næste regnskabskvartal, og vil føje til kundens samlede produktionskapacitet for høj volumen produktion af MEMS og Power IC-enheder.

Den Tegal 4200 SE klynge værktøj silicium Drie proces-modul ordre fra denne gentagelse Tegal Drie kunde følger den succesfulde installation, proces kvalifikation, og vedvarende brug af silicium Deep reaktiv ion etch processer på kundens første Tegal 4200 SE klynge værktøj PM.

"Vores kunde er kendt for deres teknologiske lederskab i MEMS og Power IC markeder, og vi ser denne gentagelse rækkefølge som bekræftelse af Tegal silicium Drie værktøjets overlegen præstation i høj volumen produktion," siger Yannick Pilloux, Drie Product Manager hos Tegal Corporation. "Vi mener, at vores Drie procesmoduler er de mest pålidelige og mest avancerede på markedet, og som denne gentagelse orden viser, har vi været i stand til at imødekomme vores kunders krævende tekniske krav til silicium Drie klynge værktøjer, men samtidig give fremragende værdi undervejs . "

Den Tegal 4200 SE ™ er en avanceret, verdensklasse klynge værktøj systemet dedikeret til Deep reaktiv ion Etch applikationer. Med et induktivt koblet plasma etch reaktor og magnetiske plasmaindeslutningen, kan værktøjet køre Tegal patenterede SHARP - Super High Aspect Ratio-processen, at opnå ætset træk skærmformaterne> 100:1 i produktionsmiljøer. Den Tegal 4200 klynge værktøj kan konfigureres med op til 4 procesmoduler, og 2 kassette moduler, for høj volumen produktion ansøgninger til de mest brugte materialer i MEMS og halvlederindretninger fabrikation: Silicium (Si), silicium på isolator (SOI), og siliciumdioxid (SiO2)

Tegal silicium Drie værktøjer er i øjeblikket ansat i en lang række forsknings-og udvikling laboratorier i hele verden, deltage i både kommercielle og akademiske forskningsprogrammer, og findes også i MEMS støberier og andre dedikerede kommercielle høj volumen produktion linjer i hele verden.

Kilde: http://www.tegal.com/

Last Update: 3. October 2011 02:43

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit