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Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Empfängt Zusätzliche Ordnung von MEMS-Hersteller In der EU

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) ein Pionier von fachkundigen Produktionslösungen für die Fälschung hoch entwickelten MEMS, Leistung IS und optoelektronische Einheiten, kündigte heute an, dass es eine Ordnung für einen zusätzlichen Clusterhilfsmittel-Prozessblock Tegal 4200 SE™ DRIE von einem führenden Lieferanten In der EU von MEMS und von Einheiten der Leistung IS empfangen hat.

Der Tegal 4200 Prozessblock SES DRIE ist an der Kundenseite in das folgende Finanzquartal und hinzufügt der Gesamtproduktionskapazität des Abnehmers für Großserienherstellung von MEMS und von Einheiten der Leistung IS versendet und eingebaut.

Die Tegal 4200 Prozess-Blockordnung des SE-Clusterhilfsmittelsilikons DRIE von diesem Abnehmer Wiederholung Tegal DRIE folgt dem erfolgreichen Einbau, der Prozessqualifikation und dem nachhaltigen Gebrauch von Silikon Tiefen Reagierenden IonenÄtzungsprozessen auf dem das Tegal 4200 des Abnehmers ersten SE-Clusterhilfsmittel P.M.

„Unser Abnehmer bekannt für ihre technologische Führung in den MEMS- und LeistungsIS Märkten, und wir sehen diese Wiederholungsordnung, wie Bestätigung des überlegenen der Leistung Hilfsmittels Tegal-Silikons DRIE in der Großserienherstellung,“ sagte Yannick Pilloux, DRIE-Produkt-Manager an Tegal Corporation. „Wir glauben, dass unsere DRIE-Prozessblöcke auf dem Markt und, da diese Wiederholungsordnung darstellt, wir sind in der Lage gewesen, die fordernden technischen Bedingungen unseres Abnehmers für Clusterhilfsmittel des Silikons DRIE zu erfüllen das zuverlässigste und das höchstentwickelt sind, bei ausgezeichneten Wert währenddessen zur Verfügung stellen.“

Das Tegal 4200 SE™ ist eine hoch entwickelte, Weltklassen- Clusterhilfsmittelanlage, die Tiefen Reagierenden IonenÄtzungsanwendungen eingesetzt wird. Einen induktiv verbundenen Plasmaätzungsreaktor und magnetische eine Plasmabeschränkung Kennzeichnend, kann das Hilfsmittel Tegals patentiertes SCHARFES ausführen - den Super Hohen Längenverhältnis-Prozess und geätzte MerkmalsLängenverhältnisse von >100 erzielen: 1 in den Produktionsumgebungen. Das Clusterhilfsmittel Tegal 4200 kann mit bis 4 Prozessblöcken und 2 Kassettenblöcken, denn GroßserienHerstellungsanwendungen sehr häufig konfiguriert werden für die verwendeten Materialien in MEMS und in der Halbleiterbauelementfälschung: Silikon (Si), Silikon Auf Isolator (SOI) und Siliciumdioxid (SiO2)

Hilfsmittel Tegal-Silikons DRIE werden momentan in zahlreichen Forschung und Entwicklung Labors weltweit eingesetzt und ziehen in den Handels- und akademischen Forschungsprogrammen an, und werden auch in weltweiten MEMS-Gießereien und in anderen engagierten HandelsGroßserienHerstellungszeilen gefunden.

Quelle: Volumen

Last Update: 12. January 2012 00:57

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