Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Λαμβάνει Πρόσθετες Παραγγελία από την ΕΕ με βάση τον κατασκευαστή MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL) καινοτόμος εξειδικευμένων λύσεων παραγωγής για την κατασκευή των προηγμένων MEMS, δύναμη ICs και οπτοηλεκτρονικών συσκευών, ανακοίνωσε σήμερα ότι έχει λάβει μια παραγγελία για μια πρόσθετη Tegal 4200 SE ™ σύμπλεγμα DRIE ενότητα διαδικασία εργαλείο από την ηγετική της ΕΕ με βάση προμηθευτής των MEMS και Power IC συσκευές.

Η Tegal 4200 SE module διαδικασία DRIE θα σταλεί και να εγκατασταθεί στο χώρο του πελάτη την επόμενη οικονομικό τρίμηνο, και θα προσθέσει στη συνολική παραγωγική ικανότητα του πελάτη για την υψηλή όγκου παραγωγής των MEMS και Power IC συσκευές.

Η Tegal 4200 SE σύμπλεγμα εργαλείο DRIE πυριτίου διαδικασία για ενότητα από αυτή την επανάληψη των πελατών Tegal DRIE ακολουθεί την επιτυχημένη εγκατάσταση, τα προσόντα τη διαδικασία, και τη συνεχή χρήση του πυριτίου Deep διαδικασίες Ion Αντιδραστική Etch στην πρώτη Tegal 4200 σύμπλεγμα του πελάτη PM εργαλείο SE.

«Ο πελάτης μας είναι γνωστή για την τεχνολογική ηγεσία τους στο MEMS και Power αγορές IC, και θεωρούμε ότι πρόκειται για επανάληψη ως επιβεβαίωση της ανώτερη απόδοση της Tegal εργαλείο πυριτίου DRIE σε υψηλή όγκου παραγωγής", δήλωσε ο Yannick Pilloux, DRIE Product Manager της Corporation Tegal. «Πιστεύουμε ότι DRIE ενότητες διαδικασία μας είναι η πιο αξιόπιστη και πιο προηγμένο στην αγορά και, ως αυτή τη σειρά επαναλάβετε δείχνει, ήμασταν σε θέση να ανταποκρίνονται στα απαιτητικά τεχνικά πελατών μας απαιτήσεις για το πυρίτιο εργαλεία σύμπλεγμα DRIE, ενώ παρέχει εξαιρετική αξία κατά μήκος του τρόπου . "

Η Tegal 4200 SE ™ είναι ένα προηγμένο, παγκόσμιας κλάσης σύστημα εργαλείο διασποράς αφιερωμένο στη βαθιά αντιδραστικό Ίων Etch εφαρμογές. Με συζευγμένο επαγωγικά πλάσμα χαράζει αντιδραστήρα και μαγνητικής συγκράτησης του πλάσματος, το εργαλείο μπορεί να τρέξει κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας SHARP Tegal χαρά - Super High διαδικασία Αναλογία πλευρών, η επίτευξη χαραγμένο αναλογίες χαρακτηριστικό στοιχείο της> 100:1 σε περιβάλλοντα παραγωγής. Η Tegal 4200 εργαλείο διασποράς μπορεί να διαμορφωθεί με έως και 4 ενότητες διαδικασία, και 2 μονάδες κασέτα, για εφαρμογές υψηλής όγκου παραγωγής για τα πιο συχνά χρησιμοποιούμενα υλικά σε MEMS και ημιαγωγών κατασκευής της συσκευής: πυριτίου (Si), πυριτίου μονωτικού (SOI), και διοξείδιο του πυριτίου (SiO2)

Οι Tegal πυριτίου εργαλεία DRIE σήμερα απασχολείται σε πολλά ερευνητικά και τα εργαστήρια ανάπτυξης σε ολόκληρο τον κόσμο, συμμετέχοντας σε τόσο εμπορική όσο και ακαδημαϊκά ερευνητικά προγράμματα, και είναι επίσης βρίσκονται σε MEMS χυτήρια και άλλες ειδικές εμπορικές γραμμές υψηλής όγκου παραγωγής παγκοσμίως.

Πηγή: http://www.tegal.com/

Last Update: 16. October 2011 02:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit