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Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Reçoit la Commande Supplémentaire du Constructeur Basé dans l'UE de MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq : TGAL) un innovateur des solutions spécialisées de production pour la fabrication de MEMS, l'alimentation électrique IC et les dispositifs optoélectroniques avancé, a aujourd'hui annoncé qu'il a reçu une commande pour un module supplémentaire de procédé d'outil de batterie de Tegal 4200 SE™ DRIE d'un principal fournisseur Basé dans l'UE des dispositifs de MEMS et d'IC d'Alimentation Électrique.

Le module de procédé de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE de Tegal 4200 sera expédié et installé au site d'abonnée pendant le trimestre fiscal suivant, et ajoutera à la capacité de production générale de l'abonnée pour la fabrication à fort débit des dispositifs de MEMS et d'IC d'Alimentation Électrique.

La commande de module de procédé du silicium DRIE d'outil de batterie d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 4200 de cette abonnée de Tegal DRIE de répétition suit l'installation réussie, la qualification de processus, et l'utilisation supportée des procédés Réactifs Profonds Gravure À L'eau Forte d'Ion de silicium sur le premier outil P.M. de batterie d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 4200 de l'abonnée.

« Notre abonnée est connue pour leur commandement technologique sur les marchés de MEMS et d'IC d'Alimentation Électrique, et nous voyons cette commande de répétition comme confirmation des performances supérieures de l'outil du silicium DRIE de Tegal à la fabrication à fort débit, » a dit Yannick Pilloux, Chef de Produit de DRIE à Tegal Corporation. « Nous croyons que nos modules de procédé de DRIE sont les plus fiables et les plus avancés sur le marché et, car cette commande de répétition affiche, nous ont pu répondre aux exigences techniques exigeantes de notre abonnée pour des outils de batterie du silicium DRIE, tout en fournissant l'excellente valeur le long de la route. »

Le Tegal 4200 SE™ est un système avancé et parmi les meilleurs du monde d'outil de batterie consacré aux applications Réactives Profondes Gravure À L'eau Forte d'Ion. Comportant un réacteur inductivement accouplé gravure à l'eau forte de plasma et un confinement magnétique de plasma, l'outil peut faire fonctionner le DIÈSE breveté de Tegal - Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur, Réalisant des rapports hauteur/largeur corrodés de caractéristique technique de >100 : 1 dans des environnements de production. L'outil de batterie de Tegal 4200 peut être configuré avec jusqu'à 4 modules de processus, et 2 modules de magasin, parce que applications À Fort Débit de Fabrication pour le plus souvent les matériaux utilisés dans MEMS et fabrication de dispositif de semi-conducteur : Silicium (Si), Silicium Sur l'Isolant (SOI), et Silice (SiO2)

Des outils du silicium DRIE de Tegal sont actuellement utilisés dans de nombreux laboratoires de recherche et développement dans le monde entier, s'engageant dans des programmes de message publicitaire et de recherche universitaire, et sont également trouvés dans des fonderies de MEMS et d'autres lignes À Fort Débit commerciales dédiées de Fabrication mondiales.

Source : http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 00:11

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