Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Ontvangt Extra Orde van Fabrikant MEMS In de EU

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Het Bedrijf van Tegal, (Nasdaq: TGAL) een vernieuwer van gespecialiseerde productieoplossingen voor de vervaardiging van geavanceerde MEMS, macht ICs en optoelectronic apparaten, kondigde vandaag aan het een orde voor een extra Tegal 4200 SE™ DRIE het procesmodule van het clusterhulpmiddel van een belangrijke leverancier In de EU van de apparaten van IC van MEMS en van de Macht heeft ontvangen.

Tegal 4200 het procesmodule van SE DRIE zal en bij de plaats van de klant in het volgende fiscale kwart worden geïnstalleerd, en zal toevoegen aan de algemene productiecapaciteit worden verscheept van de klant voor hoog volume productie van de apparaten van IC van MEMS en van de Macht.

Tegal 4200 van het de clusterhulpmiddel van SE van het het siliciumDRIE proces de moduleorde van deze klant van herhalingsTegal DRIE volgt de succesvolle installatie, proceskwalificatie, en het aanhoudende gebruik van silicium Diep Reactief Ion Etst processen op eerste Tegal 4200 van de klant PM van het de clusterhulpmiddel van SE.

„Onze klant is gekend voor hun technologische leiding in de markten van IC van MEMS en van de Macht, en wij zien deze herhalingsorde als bevestiging van de Tegal superieure prestaties van het siliciumDRIE hulpmiddel in hoog volume productie,“ bovengenoemde Yannick Pilloux, de Manager van het Product DRIE bij Bedrijf Tegal. „Wij geloven dat onze DRIE procesmodules het betrouwbaarst en het meest geavanceerd op de markt en, zoals deze herhalingsorde toont, wij hebben kunnen zijn aan de veeleisende technische eisen van onze klant voor de hulpmiddelen van de siliciumDRIE cluster voldoen, terwijl het verstrekken van uitstekende waarde langs de manier.“

Tegal 4200 SE™ is geavanceerd, systeem Etst het van wereldklasse van het clusterhulpmiddel toepassingsgericht aan Diep Reactief Ion toepassingen. Kenmerkend een inductief gekoppeld plasma ets reactor en de magnetische plasmabeperking, het hulpmiddel kan gepatenteerde SCHERP van Tegal in werking stellen - Super Hoge Aspectverhouding Proces, bereikend geëtste eigenschapaspectverhoudingen van >100: 1 in productiemilieu's. Tegal 4200 clusterhulpmiddel kan met maximaal 4 procesmodules, en 2 cassettemodules, voor de toepassingen van de Productie van het Hoge Volume voor de het vaakst gebruikte materialen in het apparatenvervaardiging van MEMS worden gevormd en van de halfgeleider: Silicium (Si), Silicium Op Isolatie (SOI), en het Dioxyde van het Silicium (SiO2)

De het siliciumDRIE hulpmiddelen van Tegal zijn over de hele wereld weldra aangewend in talrijke onderzoek en ontwikkelingslaboratoria, in dienst nemend in zowel commerciële als academische onderzoeksprogramma's, en in gieterijen MEMS en andere specifieke commerciële lijnen van de Productie van het Hoge Volume wereldwijd ook gevonden.

Bron: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 00:09

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit