Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal recebe pedido adicional da UE-Based fabricante MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) inovadora em soluções de produção especializada para a fabricação de MEMS avançadas, ICs de energia e dispositivos optoeletrônicos, anunciou hoje que recebeu uma encomenda para um adicional de 4.200 SE Tegal ™ Cluster DRIE módulo de processo de uma ferramenta de liderança da UE baseado fornecedor de MEMS e dispositivos de energia IC.

A Tegal 4200 SE módulo de processo DRIE será enviado e instalado no local do cliente no próximo trimestre fiscal, e vai adicionar a capacidade de produção do cliente global para alto volume de fabricação de MEMS e dispositivos de energia IC.

A Tegal 4200 SE ferramenta de agrupamento de silício DRIE fim módulo de processo deste cliente repita DRIE Tegal segue a instalação bem-sucedida, a qualificação de processos e uso sustentado dos processos Reactive Ion Etch profunda de silício sobre o cliente em primeiro lugar 4200 SE Tegal PM ferramenta de cluster.

"Nosso cliente é conhecido por sua liderança tecnológica no MEMS e mercados de energia IC, e vemos esta ordem repetir como confirmação de um desempenho superior a Tegal silício ferramenta DRIE na fabricação de alto volume", disse Yannick Pilloux, DRIE gerente de produto da Corporação Tegal. "Acreditamos que a nossa módulos de processo DRIE são as mais confiáveis ​​e mais avançado no mercado e, como este fim de repetição mostra, temos sido capazes de atender nossos clientes exigentes requisitos técnicos para ferramentas de cluster de silício DRIE, oferecendo excelente valor ao longo do caminho . "

A Tegal 4200 SE ™ é um avançado de classe mundial do sistema ferramenta de cluster dedicado ao fundo aplicações Ion Reativo Etch. Apresentando um reator de plasma indutivamente acoplado etch e confinamento magnético do plasma, a ferramenta pode executar patenteado SHARP Tegal é - Processo Relação Super High Aspect, obtendo taxas característica gravado aspecto de> 100:1 em ambientes de produção. A ferramenta de agrupamento Tegal 4200 pode ser configurado com até 4 módulos de processo, e 2 módulos de cassete, para aplicações de alto volume de Fabricação para os materiais mais utilizados na fabricação de MEMS e dispositivos semicondutores: silício (Si), Silício Sobre Isolante (SOI), e Dióxido de Silício (SiO2)

Ferramentas Tegal silício DRIE são atualmente empregadas em pesquisas e laboratórios de desenvolvimento em todo o mundo, engajando-se em ambos os programas de pesquisa acadêmica e comercial, e também são encontrados em fundições de MEMS e outros dedicados linhas comerciais de alto volume de Fabricação em todo o mundo.

Fonte: http://www.tegal.com/

Last Update: 22. October 2011 07:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit