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Tegal Recebe o Pedido Adicional do Fabricante Com base nos EU de MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporaçõ, (Nasdaq: TGAL) um inovador de soluções especializadas da produção para a fabricação de MEMS avançado, potência CI e dispositivos optoelectronic, anunciou hoje que recebeu um pedido para um módulo adicional do processo da ferramenta do conjunto de Tegal 4200 SE™ DRIE de um fornecedor Com base nos EU principal de MEMS e de dispositivos da Potência IC.

O módulo do processo do SE DRIE de Tegal 4200 será enviado e instalado no local de cliente no quarto fiscal seguinte, e adicionará à capacidade de produção total do cliente para a fabricação do volume alto de MEMS e de dispositivos da Potência IC.

O pedido do módulo do processo do silicone DRIE da ferramenta do conjunto do SE de Tegal 4200 deste cliente de Tegal DRIE da repetição segue a instalação bem sucedida, a qualificação do processo, e o uso sustentado de processos Reactivos Profundos Gravura Em Àgua Forte do Íon do silicone ferramenta PM do conjunto do SE do Tegal 4200 do cliente na primeira.

“Nosso cliente é conhecido para sua liderança tecnologico nos mercados de MEMS e de Potência IC, e nós vemos este pedido como confirmação do desempenho superior da ferramenta do silicone DRIE de Tegal na fabricação do volume alto,” disse Yannick Pilloux, Director de Produto da repetição de DRIE em Tegal Corporaçõ. “Nós acreditamos que nossos módulos do processo de DRIE são os mais seguros e os mais avançados no mercado e, como este pedido da repetição mostra, nós puderam cumprir as exigências técnicas de exigência do nosso cliente para ferramentas do conjunto do silicone DRIE, ao fornecer o valor excelente ao longo do caminho.”

O Tegal 4200 SE™ é um sistema avançado, da mundo-classe do conjunto da ferramenta dedicado às aplicações Reactivas Profundas Gravura Em Àgua Forte do Íon. Caracterizando um reactor indutiva acoplado gravura em àgua forte do plasma e um confinamento magnético do plasma, a ferramenta pode executar o SHARP patenteado de Tegal - Processo Alto Super do Prolongamento, Conseguindo prolongamentos gravados da característica de >100: 1 em ambientes de produção. A ferramenta do conjunto de Tegal 4200 pode ser configurada com os até 4 módulos do processo, e os 2 módulos da gaveta, porque as aplicações da Fabricação do Volume Alto para mais frequentemente os materiais usados em MEMS e em fabricação do dispositivo de semicondutor: Silicone (Si), Silicone No Isolador (SOI), e Dióxido de Silicone (SiO2)

As ferramentas do silicone DRIE de Tegal são empregadas presentemente em laboratórios numerosos da investigação e desenvolvimento no mundo inteiro, contratando em programas de investigação comerciais e académicos, e igualmente encontradas nas fundições de MEMS e em outras linhas comerciais dedicadas da Fabricação do Volume Alto mundiais.

Source: http://www.tegal.com/

Last Update: 4. June 2015 06:10

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