Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Получает Дополнительный Заказ от EU-Основанного Изготовления MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Корпорация, (NASDAQ: TGAL) рационализатор специализированных разрешений продукции для изготовления предварительного MEMS, силы ICs и электронно-оптический приборов, сегодня объявило что оно получило заказ для дополнительного модуля процесса инструмента группы Tegal 4200 SE™ DRIE от EU-основанного поставщика водя приборов MEMS и IC Силы.

Модуль процесса SE DRIE Tegal 4200 будет погружен и будет установлен на местоположения клиента в следующей фискальной четверти, и добавит к емкости общего уровня производства клиента для высокообъемного изготавливания приборов MEMS и IC Силы.

Заказ модуля процесса кремния DRIE инструмента группы SE Tegal 4200 от этого клиента Tegal DRIE повторения следовать успешной установкой, отростчатой квалификацией, и, котор вытерпели пользой процессов Etch Иона кремния Глубоких Реактивных на инструменте PM группы SE Tegal 4200 клиента первом.

«Наш клиент знан для их технологического водительства в рынках MEMS и IC Силы, и мы видим этот заказ по мере того как подтверждение представления инструмента кремния DRIE Tegal главного в высокообъемном изготавливании,» сказал Yannick Pilloux, Менеджер по Продукции повторения DRIE на Tegal Корпорации. «Мы верим что наши модули процесса DRIE самые надежные и само предварительно на рынке и, по мере того как этот заказ повторения показывает, мы могл выполнять технические требования нашего клиента требуя для инструментов группы кремния DRIE, пока обеспечивающ превосходное значение вдоль путя.»

Tegal 4200 SE™ предварительная, мирового класса система инструмента группы предназначенная к Глубоким Реактивным применениям Etch Иона. Отличающ индуктивно соединенным реактором etch плазмы и магнитным удерживанием плазмы, инструмент может работать ДИЕЗ Tegal запатентованный - Супер Высокий Процесс Коэффициента Сжатия, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики >100: 1 в промышленных средах. Инструмент группы Tegal 4200 можно установить с до 4 отростчатыми модулями, и 2 модулями кассеты, ибо Высокообъемными применениями Изготавливания для наиболее часто используемых материалов в MEMS и изготовлении полупроводникового устройства: Кремний (Si), Кремний на изоляторе (SOI), и Двуокись Кремния (SiO2)

Инструменты кремния DRIE Tegal в настоящее время использованы в многочисленних лабораториях научных исследований и разработки повсеместно в мир, включающ и в коммерчески и академичных исследовательских программах, и также найдены в плавильнях MEMS и других преданных коммерчески Высокообъемных линиях Изготавливания всемирных.

Источник: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 00:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit