SEMATECHと国際SEMATECHの製造イニシアティブ(ISMIは)、CA、サンフランシスコのセミコンウェスト2010と組み合わせて、7月13〜15からの講義とワークショップのセッションの広い範囲で現在の研究に焦点を当てます。
SEMATECHとISMIの専門家は重要なチャンスと3Dインターコネクト技術の課題に対処する上で特別な焦点を当てて、新しい材料やデバイス構造、次世代の計測技術、および機器とファブの生産性の彼らの最新の進歩を報告します。
"我々の目標は、簡単に現実世界の製造環境に組み込むことができる半導体技術の継続的なスケーリングのために革新的かつ実用的なソリューションを促進することである、"ダンArmbrust、SEMATECHの社長兼最高経営責任者(CEO)は語った。 "様々なプレゼンテーションやワークショップを通して、私たちは、3Dインターコネクトの約束を探る、私たちの技術的知識とベストプラクティスの共有、そして前方に我々の業界を後押しする新たな製造コンセプトを導入することを楽しみにして。"
いくつかのSEMATECHとISMIの専門家を含めて、7月14日、モスコーニセンターの北ホールでは、セミコンウェストTechXPOTのステージで話すように予定されている。
- 午前11時ポールキルシュ、フロントエンドプロセスのSEMATECHのディレクター、"将来の不揮発性メモリ技術としての金属酸化物RRAM、"
- ディリップパテル、ISMIの計測プログラムマネージャは、"ナノスケールの測定:製造業における計測の課題、"12:20時
- 16:30 - ブライアンライス、リソグラフィのSEMATECHのディレクターは、2から高度なリソグラフィTechXPOTセッションの司会をされる
また、SEMATECHとISMIはSEMICON Westでの間に様々な公共のワークショップを開催します。
- マリオットマーキスタイムズスクエアで、午前8時7月12日のOverspecification - 装置サプライヤとエンドユーザは、ISMIの機器のエネルギーワークショップでの半導体プロセスツールのユーティリティの容量のoverspecificationの問題に対処するために会う予定だ。
- ISMIのクラスタツールのパフォーマンストラッキングワークショップでは、マルチパスクラスタツールのパフォーマンスメトリックを決定するためにISMIによって開発された革新的な方法論上の洞察力とトレーニングを提供します。ワークショップはまた、マリオットマーキスタイムズスクエアで、クラブルームで午後1時で7月12日に機器のパフォーマンスのベンチマークのソリューションを提供します。
- 、午後1時7月12日のアイドルモードのための標準通信プロトコル - 機器のサプライヤーは、ISMIの機器のエネルギーワークショップでは真空ポンプと使用の除害装置のポイントを荒加工などの主要なツールとサポート機器間の標準通信インタフェースプロトコルの実行可能性を議論するマリオットマーキスタイムズスクエアで。
- SEMATECHが主催する、フラウンホーファーIZFP、シリコン貫通ビアを使用して3D ICのためのストレスマネジメントに関する第二回ワークショップと共同で、9時7月13日に必要な材料特性、測定技術と、対応するシミュレーションの使用モードなどのストレスを管理するためのDFMのようなアプローチを、説明しますグランドハイアットで、午前。
- ISMIインストールベース機器のシリーズの一環として、ISMIは、マリオットマーキスタイムズスクエアで次のワークショップを開催します。
- 午前8時7月13日にOEMに特化したドライエッチングプロセス装置のワークショップ、
- 午前8時7月14日ドライエッチングチャンバでの機器の生産性ワークショップ、
- 午前8時7月15日にOEMに特化したドライエッチングプロセス装置のワークショップ、
- SEMIとSEMATECH、3Dインターコネクトの課題と共催し、標準のワークショップの必要性は、ビジョンと、3D TSVの統合に関する最新情報気になる部分を求める、との既存のソリューションと提案/予想ソリューション間の差異の領域を特定するために進捗状況を提供しますマリオットマーキスタイムズスクエアで午後1時、7月13日。
- 機器メーカは、新規および既存のウエハーの計測技術は、マリオットマーキスタイムズスクエアで、午後1時から7月14日に、使用、変更、またはSEMATECHの3次元計測のワークショップでの3D配線プロセスを測定し、改善するように拡張する方法で彼らの計画を共有します。
- SEMIとの共催、ISMIのe -マニュファクチャリングワークショップでは、機器のデータ収集インタフェース(インタフェース)に焦点を当てます。次の凍結のレベルを含むインターフェイスの実装戦略を可能にする、電子製造業の要件は、、マリオットマーキスタイムズスクエアで、午後1時から7月14日にチップメーカー、装置メーカーやソフトウェアサプライヤの聴衆に提示されます。
- SEMIとの共催、ISMIの製品および機器時間メトリックのワークショップでは、半導体業界への"製品および機器時間メトリック"の概念を導入するフォーラムを提供します。参加者は、マリオットマーキスタイムズスクエアでは、識別、測定、および午後1時7月15日に工場と設備生産性を向上させるための代替方法として時間メトリックの概念の定義と使用の理解を得ることができる。