Posted in | Nanofabrication

Νέα Gemstar ALD Συστήματος από Arradiance Καταθέσεις Ομοιόμορφα Films Nanolaminate

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance ανακοίνωσε σήμερα νέα ισχυρή τους Gemstar ™ Σταθερά Ατομικής Layer Εναπόθεση (ALD), το σύστημα χρονικά με την έναρξη της ετήσιας συνεδρίασης Ατομικής Layer Εναπόθεση της Αμερικανικής Εταιρείας κενού στη Σεούλ της Κορέας, όπου ο Δρ Philippe de Rouffignac, Arradiance Principal Scientist υλικό, έχει κληθεί να μιλήσει για το θέμα, "ALD του SnO2 ως το ενεργό συστατικό της Πλαστικά μικροδιαύλων-Based Fast Απευθείας νετρονίων Detector".

Η Gemstar, για την οποία Arradiance έχει ήδη λάβει πολλές παραγγελίες από κορυφαία ερευνητικά κέντρα, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κατάθεση λεπτές στρώσεις του υλικού σε σχεδόν οποιοδήποτε υπόστρωμα και έχει σχεδιαστεί με τις πιο προκλητικές υψηλού δείκτη πτυχή όσο και μέσω των πόρων-εφαρμογές εναπόθεση στο μυαλό.

Gemstar Σταθερά ALD

Το σύστημα Gemstar πακέτα την ικανότητα να επεξεργάζονται 6 "πλακιδίων ή στερεά έως 1" βαθιά μαζί με χώρο για μέχρι και 8 πρόδρομες ουσίες σε ένα μικροσκοπικό 31 "x 24" x 11 "πακέτο χωρίς να θυσιάζει τη συντηρησιμότητα ή ταινιών ποιότητας. Το σύστημα διαθέτει επίσης μια θύρα για προαιρετική in-situ μετρολογίας, μια προαιρετική δυνατότητα βοηθήσει αζώτου, την ικανότητα των θερμαινόμενη προδρόμων ουσιών και εσωλέμβια MFC βαλβίδα. Arradiance είναι στιβαρό και φιλικό προς το χρήστη GEMFlow ™ λογισμικού και πέντε πριν από την ειδική συνταγές έρχονται πρότυπο.

«Από το έργο μας με ευαισθησία, η υψηλή δομές αναλογία μικροδιαύλου, γίναμε πλήρη επίγνωση της ανάγκης για ένα σύστημα στο οποίο θα μπορούσαμε να repeatably και με ομοιόμορφο τρόπο κατάθεσης συγκρότημα ταινίες nanolaminate αποτελεσματικά», εξηγεί ο δρ ντε Rouffignac. "Είμαστε, επίσης, πραγματοποιήθηκε από την ομιλία για να κορυφαίες εταιρείες του κλάδου ότι το μέγεθος του συστήματος, των τιμών, η ευελιξία σε διαστάσεις πλακιδίων και διαθεσιμότητα πρόδρομος είναι το κλειδί για τις ανάγκες της έρευνας και ανάπτυξης της αγοράς."

Arradiance Διευθυντής Διευθυντής, David Beaulieu, προσθέτει, «μάθαμε από τις εφαρμογές μας ότι ο σχεδιασμός για την ομοιομορφία και παραμετρικός έλεγχος είναι τα κλειδιά για την αναπτυξιακή επιτυχία. Μοναδική αντιδραστήρα μας, θερμαινόμενη πολλαπλή πρόδρομος και πολυκάναλο σύστημα διανομής του φυσικού αερίου, παράλληλα με τα ατομικά στοιχεία ελέγχου θέρμανσης πρόδρομος μας δώσει τη δύναμη και την ευελιξία να χειριστεί οποιαδήποτε σύνθετη ταινία. "

Πηγή: http://www.arradiance.com/

Last Update: 6. October 2011 17:59

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit