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Arradianceから新しいジェムスターALDシステムは、均一Nanolaminateフィルムを預金

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

博士フィリップドRouffignac、Arradiance主材料科学者は、に招待されている場所Arradiance今日はソウル、韓国のアメリカの真空協会の年次原子層堆積会議の開始とタイミング、その強力な新しいジェムスター™ベンチトップ原子層堆積(ALD)システムを発表トピックに話す、"プラスチック製マイクロチャネルベースの​​直接高速中性子検出器の活性成分として、酸化スズのALD。"

Arradianceはすでに主要な研究機関から複数の注文を受けているためにジェムスターは、、事実上すべての基板上に材料の薄い層を堆積するために使用することができますし、最も困難な高アスペクト比と心の貫通孔膜のアプリケーションで設計されました。

ジェムスターベンチALD

ジェムスターシステムは、メンテナンス性やフィルムの品質を損なうことなく、最大小さな31"× 24"× 11"パッケージで8前駆体のための部屋と一緒に"最大1枚または固体"深さ6を処理する能力をパック。システムはまた、オプションのin - situ計測用ポート、オプションの窒素アシスト機能、温水前駆体と内側MFCバルブの機能を備えています。 Arradianceの堅牢性とユーザーフレンドリーGEMFlow™ソフトウェアと5つのプリ修飾レシピが標準装備されています。

"敏感な、高アスペクト比マイクロ構造を持つ我々の仕事から、我々はに対して繰り返し、均一に効率的に複雑なnanolaminate膜を堆積する可能性があったシステムの必要性を痛感なった"、博士はドRouffignacは説明しています。 "我々はまた、システムのサイズ、価格、ウェハ寸法の柔軟性と前駆体の可用性がさらにR&D市場のニーズへの鍵であることを業界のリーダーに話してから気づいた。"

Arradianceチーフオペレーティングオフィサー、デビッドボーリューは、我々は均一性とパラメトリックコントロールのデザインが発達成功の鍵であることを私たち自身のアプリケーションから学んだ"、追加されます。当社独自の原子炉、加熱された前駆体のマニホールドとマルチチャンネルのガス供給システム、個々の前駆体の加熱コントロールと一緒に私達に、複雑なフィルムを処理するパワーと柔軟性を与える。"

ソース: http://www.arradiance.com/

Last Update: 9. October 2011 11:25

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