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Arradiance에서 GEMStar 새로운 ALD 시스템은 획일하게 Nanolaminate 필름을 예금합니다

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance는 오늘 알렸습니다 Philippe de Rouffignac, Arradiance 주요한 물자 (ALD) 과학자 박사가, 토픽에 말하도록 초대된 서울, 한국에 있는 미국 진공 사회의 연례 원자 층 공술서 회의의 시작으로 시기가 정해진 그들의 강력한 새로운 GEMStar™ Benchtop 원자 층 공술서 시스템을, "기지를 둔 플라스틱 Microchannel ‐의 능동 소자로 SnO2의 ALD 지시합니다 단단 중성자 검출기를."

Arradiance가 주요한 연구소에서 이미 다중 명령을 수신한, GEMStar는 실제로 어떤 기질든지에 물자의 얇은 층을 예금하기 위하여 이용될 수 있고 도전적인 높은 종횡비에 그리고 마음에 있는 ‐ 숨구멍 공술서 응용을 통해 디자인되었습니다.

GEMStar Benchtop ALD

GEMStar 시스템 팩 유지가능성 또는 필름 질 희생 없이 작은 31"에 있는 8개까지 선구자를 위한 룸과 더불어 1"까지 6"을 웨이퍼 또는 고체 깊은 곳에서 x 24" x 11" 포장 가공하는 기능. 시스템은 또한 격렬한 선구자의 ‐ situ 도량형학, 선택적인 질소 지원 특징, 기능 및 선체내 MFC 벨브에서 선택을 위한 포트를 특색짓습니다. Arradiance의 GEMFlow™ 강력하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 및 5개의 전 ‐에 의하여 자격이 된 조리법은 기준 옵니다.

"과민하고, 높은 종횡비 microchannel 구조물로 우리의 작동에서, 우리는 우리가 repeatably 할 수 있고 획일하게 복잡한 nanolaminate를 예금하기 위하여" 능률적으로 촬영하는 시스템을 위한 필요를 격렬하게, 설명합니다 de Rouffignac 박사를 알게되었습니다. "우리는 또한에서 산업계 지도자에 웨이퍼 차원에 있는 시스템 크기, 가격, 융통성 및 선구자 가용성이 또한 연구 및 개발 시장의 필요에 중요하다는 것을." 말하기 실현했습니다

Arradiance 데비드 Beaulieu, 최고 업무 책임자는 덧붙입니다, "우리는 균등성을 위해 디자인하고 매개 변수 통제가 개발 성공에 키인 우리의 자신의 응용에서 배웠습니다. 우리의 유일한 반응기, 격렬한 선구자 다기관 및 다중 ‐는 가스 전달계에 수로를 열습니다 개별적인 선구자 난방 통제와 더불어 주십시오 저희에게 어떤 복잡한 필름든지 취급하는 힘 및 융통성을."

근원: http://www.arradiance.com/

Last Update: 12. January 2012 01:46

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