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O Sistema Novo de GEMStar ALD de Arradiance Deposita Uniformemente Filmes de Nanolaminate

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance anunciou hoje seu sistema Atômico novo poderoso do Depósito da Camada de GEMStar™ (ALD) Benchtop cronometrado com o começo da Reunião Atômica anual do Depósito da Camada da Sociedade Americana do Vácuo em Seoul, Coreia onde o Dr. Philippe de Rouffignac, Cientista Material Principal de Arradiance, foi convidado a falar no assunto, “ALD de SnO2 como o componente activo de um ‐ Plástico do Microcanal Baseado Dirige o Detector de Nêutron Rápido.”

O GEMStar, para que Arradiance tem recebido já pedidos múltiplos dos centros de pesquisa principais, pode ser usado para depositar camadas finas de material em virtualmente toda a carcaça e foi projectado com o prolongamento alto o mais desafiante e com as aplicações do depósito do poro do ‐ na mente.

GEMStar Benchtop ALD

Os blocos de sistema de GEMStar a capacidade para processar 6" bolachas ou sólidos até 1" profundamente junto com a sala para até 8 precursores em um 31" minúsculo x 24" x 11" pacote sem sacrificar a manutencibilidade ou a qualidade do filme. O sistema igualmente caracteriza uma porta para opcional na metrologia do situ do ‐, em uma característica opcional da assistência do nitrogênio, na capacidade de precursores calorosos e em uma válvula interna do MFC. Arradiance robusto e o software amigável de GEMFlow™ do ‐ do usuário e cinco pre receitas qualificadas ‐ vêm padrão.

“De nosso trabalho com estruturas sensíveis, altas do microcanal do prolongamento, nós tornamo-nos aguda cientes da necessidade para um sistema em que nós poderíamos repeatably e para depositar uniformemente o nanolaminate complexo filma eficientemente”, explicamos o Dr. de Rouffignac. “Nós igualmente realizamos do discurso aos líderes do sector que o tamanho de sistema, o preço, a flexibilidade em dimensões da bolacha e a disponibilidade do precursor são igualmente chaves às necessidades do mercado do R&D.”

O Director de Operações de Arradiance, David Beaulieu, adiciona, “nós aprendemos de nossas próprias aplicações que projectam para a uniformidade e o controle paramétrico é as chaves ao sucesso desenvolvente. Nossos reactor original, distribuidor caloroso do precursor e multi ‐ canalizam o sistema de entrega do gás, junto com controles de aquecimento individuais do precursor dê-nos a potência e a flexibilidade segurar todo o filme complexo.”

Source: http://www.arradiance.com/

Last Update: 12. January 2012 01:53

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