Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanofabrication

Новая Система GEMStar ALD от Arradiance Равномерно Депозирует Фильмы Nanolaminate

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance сегодня объявило их мощную новую систему Низложения Слоя GEMStar™ Benchtop (ALD) Атомную приуроченную с стартом Встречи Низложения Слоя Американского Общества Вакуума однолетней Атомной в Сеул, Корее где Др. Philippe de Rouffignac, Научный Работник Arradiance Главным Образом Материальный, был приглашен поговорить на теме, «ALD SnO2 как активный компонент Пластичного Основанного ‐ Microchannel Направляет Детектор Быстрого Нейтрона.»

GEMStar, для которого Arradiance уже получало множественные заказы от ведущие исследовательскийа центр, можно использовать для того чтобы депозировать тонкие слои материала на фактически любом субстрате и было конструировано с самым трудный высоким коэффициентом сжатия и через применения низложения поры ‐ в разуме.

GEMStar Benchtop ALD

Пакеты системы GEMStar возможность для того чтобы обрабатывать 6" вафли или твердые тела до 1" глубоко вместе с комнатой для до 8 прекурсоров в малюсенькое 31" x 24" x 11" пакет без жертвовать ремонтопригодность или качество фильма. Система также отличает портом для опционного в метрологии situ ‐, опционной характеристике голевой передачи азота, возможности heated прекурсоров и внутренном клапане MFC. Arradiance робастное и ПО GEMFlow™ ‐ пользователя содружественное и 5 pre квалифицированные ‐ рецептов приходят стандарт.

«От нашей работы с чувствительными, высокими структурами microchannel коэффициента сжатия, мы стали акутово осведомленными потребности для системы в которой мы смогли repeatably и равномерно депозировать сложное nanolaminate снимает эффективно», объясняем Др. de Rouffignac. «Мы также осуществили от говорить к лидерам индустрии что размер системы, цена, гибкость в размерах вафли и наличие прекурсора также ключевы к потребностям рынка R&D.»

Замдиректора по Операциям Arradiance, Дэвид Beaulieu, добавляет, «мы выучили от наших собственных применений которые конструируют для единообразия и параметрическое управление ключи к отработочному успеху. Наши уникально реактор, heated коллектор прекурсора и multi ‐ направляют средство доставки газа, вместе с индивидуальными управлениями топления прекурсора дайте нам силу и гибкость отрегулировать любой сложный фильм.»

Источник: http://www.arradiance.com/

Last Update: 12. January 2012 01:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit