Posted in | Nanofabrication

Nya GEMSTAR ALD System från Arradiance Insättningar enhetligt Nanolaminate Films

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance tillkännagav idag sin nya kraftfulla Gemstar ™ bänk Atomic Layer Deposition (ALD) system tidsinställda med starten av den amerikanska Vacuum Society årliga Atomic Layer Deposition mötet i Seoul, Korea där Dr Philippe de Rouffignac, Arradiance Principal Material Scientist, har inbjudits att tala om ämnet "ALD av SnO2 som aktiv komponent i en plast Mikrokanalplattor-Based Direkt Snabb Neutron Detector."

Den GEMSTAR, som Arradiance har redan fått flera order från ledande forskningscentrum, kan användas för att deponera tunna lager av material på nästan alla underlag och har utformats med den mest utmanande hög bildformat och genom-por applikationer nedfall i åtanke.

GEMSTAR bordsmodell ALD

Det GEMSTAR-system med kapacitet att bearbeta 6 "plattor eller partiklar upp till en" djup tillsammans med plats för upp till 8 prekursorer i en liten 31 "x 24" x 11 "paket utan att offra underhåll eller film kvalitet. Systemet har även en port för extra in-situ metrologi, en valfri kväve hjälpa funktion, förmåga uppvärmda prekursorer och en inombordare MFC ventil. Arradiance robusta och användarvänliga GEMFlow ™ programvara och fem före kvalificerade recept är standard.

"Från vårt arbete med känslig, högt mikrokanalplatta bildformat strukturer, blev vi mycket medvetna om behovet av ett system där vi kunde repeatably och enhetligt insättning komplexa nanolaminate filmer effektivt", förklarar Dr de Rouffignac. "Vi insåg också från att tala till industrin ledare som systemets storlek, pris, flexibilitet i wafer dimensioner och föregångare tillgänglighet är också nyckeln till att behoven av FoU-marknaden."

Arradiance Chief Operating Officer, David Beaulieu, tillägger, "vi lärt oss av våra egna program som design för enhetlighet och parametriska kontroll är nyckeln till utveckling framgång. Vår unika reaktorn, uppvärmda föregångare mångfaldiga och flerkanaligt gas leveranssystem, tillsammans med enskilda föregångare värmeautomatik ge oss den kraft och flexibilitet att hantera alla komplexa film. "

Källa: http://www.arradiance.com/

Last Update: 6. October 2011 18:00

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit