Posted in | Nanofabrication

Bagong GEMStar ALD System mula sa Arradiance pantay deposito pelikulang Nanolaminate

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance ngayon inihayag ng kanilang malakas na bagong GEMStar ™ Benchtop atomic Layer salaysay (ALD) system time sa simula ng taunang American Society vacuum atomic Meeting Layer salaysay sa Seoul, Korea kung saan Dr. Philippe de Rouffignac, Arradiance Principal Material siyentipiko, ay inanyayahan sa makipag-usap sa paksa, "ALD ng SnO2 bilang ng mga aktibong bahagi ng isang plastic Microchannel-Batay Direct Mabilis neutron Detector."

Ang GEMStar, na kung saan Arradiance na natanggap ng maramihang mga order mula sa mga nangungunang sentro ng pananaliksik, ay maaring magamit sa deposito ng manipis na layer ng materyal na sa kahit anong substrate at dinisenyo gamit ang pinaka mahirap na mataas na aspect ratio at sa pamamagitan ng-titigan salaysay application sa isip.

GEMStar Benchtop ALD

Ang sistema ng GEMStar pack ang kakayahan upang i-proseso ang 6 "wafers o solids hanggang sa 1" malalim kasama sa kuwarto para sa hanggang sa 8 mga precursors sa isang napakaliit 31 "x 24" x 11 "pakete na walang sacrificing maintainability o kalidad ng pelikula. Rin ng system ang mga tampok ng isang port para sa opsyonal in-situ metrolohiya, ang isang opsyonal na tampok na nitrogen tulungan, ang kakayahan ng mga iniinitan precursors at isang nasa loob ng bapor MFC balbula. Arradiance ng matatag at user-friendly na GEMFlow ™ software at limang pre-qualified na mga recipe na dumating standard.

"Mula sa aming trabaho sa mga sensitive, mataas na aspect ratio microchannel kaayusan, kami ay naging acutely ng kamalayan ng kailangan para sa isang sistema na kung saan ay maaaring namin repeatably at pantay deposito ng mga kumplikadong mga pelikula sa nanolaminate mahusay", nagpapaliwanag Dr de Rouffignac. "Kami din natanto mula sa pagsasalita sa mga lider ng industriya na ang sukat ng sistema, presyo, kakayahang umangkop sa mga sukat ng ostiya at availability ng pasimula ay key din sa mga pangangailangan ng R & D merkado."

Arradiance Chief Operating Officer, David Beaulieu, nagdadagdag, "na aming natutunan mula sa aming sariling mga application na disenyo para sa pagkakapareho at parametric control ay ang susi sa pag-unlad tagumpay. Ang aming natatanging reaktor, iniinitan pasimula ng marami at multi-channel sistema ng paghahatid ng gas, kasama ang mga indibidwal na pasimula kontrol pagpainit magbigay sa amin ng kapangyarihan at kakayahang umangkop upang mahawakan ng anumang kumplikadong film. "

Source: http://www.arradiance.com/

Last Update: 21. October 2011 17:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit