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Posted in | Nanofabrication

从 Arradiance 的新的 GEMStar ALD 系统统一存款 Nanolaminate 影片

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance 在菲利普角 de Rouffignac, Arradiance 首席物质科学家 (ALD)博士,被邀请发表演讲关于事宜的汉城,韩国今天宣布了他们强大的新的 GEMStar™ Benchtop 基本层证言系统计时与美国真空社团的每年基本层证言会议的起始时间, “SnO2 ALD 作为基于的塑料微通道‐的有效部分处理快中子探测器”。

GEMStar, Arradiance 从主导的研究中心已经收到了多个订单,在头脑里可以用于存款材料薄层在实际上所有基体的和被设计了以最富挑战性的高长宽比和通过‐毛孔证言应用。

GEMStar Benchtop ALD

GEMStar 系统组装处理 6" 的功能薄酥饼或固体至 1" 深深以及 8 个前体的空间在一微小 31" x 24" x 11" 程序包,不用牺牲可维护性或影片质量。 这个系统也以选项的一个端口为特色在‐ situ 计量学、一个选项氮气协助激昂的前体的功能、功能和一个舱内 MFC 阀门。 Arradiance 的稳健和用户友好 GEMFlow™软件和五份前‐合格的处方来标准。

“从我们的与敏感,高长宽比微通道结构一起使用,我们发觉了深刻地需要对于我们可能 repeatably,并且统一存款复杂 nanolaminate 高效地摄制”的系统,解释 de Rouffignac 博士。 “我们从谈话也意识到与行业领袖系统大小、价格、灵活性在薄酥饼维数和前体可用性也是关键的对 R&D 市场的需要”。

Arradiance 业务执行责任者,大卫比尤利,补充说, “我们从为均一设计,并且参数控制是关键字对发展成功的我们自己的应用了解。 我们的唯一反应器、激昂的前体多头管和多‐开辟气体送货系统,以及各自的前体热度控制请产生我们这种功率和灵活性处理所有复杂影片”。

来源: http://www.arradiance.com/

Last Update: 12. January 2012 01:33

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