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從 Arradiance 的新的 GEMStar ALD 系統統一存款 Nanolaminate 影片

Published on June 22, 2010 at 2:06 AM

Arradiance 在菲利普角 de Rouffignac, Arradiance 首席物質科學家 (ALD)博士,被邀請發表演講關於事宜的漢城,韓國今天宣佈了他們強大的新的 GEMStar™ Benchtop 基本層證言系統計時與美國真空社團的每年基本層證言會議的起始時間, 「SnO2 ALD 作為基於的塑料微通道‐的有效部分處理快中子探測器」。

GEMStar, Arradiance 從主導的研究中心已經收到了多個訂單,在頭腦裡可以用於存款材料薄層在實際上所有基體的和被設計了以最富挑戰性的高長寬比和通過‐毛孔證言應用。

GEMStar Benchtop ALD

GEMStar 系統組裝處理 6" 的功能薄酥餅或固體至 1" 深深以及 8 個前體的空間在一微小 31" x 24" x 11" 程序包,不用犧牲可維護性或影片質量。 這個系統也以選項的一個端口為特色在‐ situ 計量學、一個選項氮氣協助激昂的前體的功能、功能和一個艙內 MFC 閥門。 Arradiance 的穩健和用戶友好 GEMFlow™軟件和五份前‐合格的處方來標準。

「從我們的與敏感,高長寬比微通道結構一起使用,我們發覺了深刻地需要對於我們可能 repeatably,并且統一存款複雜 nanolaminate 高效地攝製」的系統,解釋 de Rouffignac 博士。 「我們從談話也意識到與行業領袖系統大小、價格、靈活性在薄酥餅維數和前體可用性也是關鍵的對 R&D 市場的需要」。

Arradiance 業務執行責任者,大衛比尤利,補充說, 「我們從為均一設計,并且參數控制是關鍵字對發展成功的我們自己的應用瞭解。 我們的唯一反應器、激昂的前體多頭管和多‐開闢氣體送貨系統,以及各自的前體熱度控制请產生我們這種功率和靈活性處理所有複雜影片」。

來源: http://www.arradiance.com/

Last Update: 25. January 2012 23:38

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