KLA-Tencor 揭幕 2Xnm 逻辑的, 1Xnm 半间距存储设备新的计量学系统

Published on June 23, 2010 at 2:45 AM

今天 KLA-Tencor Corporation (那斯达克: KLAC),程序控制和产量管理解决方法的领先世界的供应商半导体和相关行业的,引入阿切尔 300 LCM 计量学系统。

阿切尔 300 LCM 聘用精确度和评定比那加速显着好其前辈、宽采用的阿切尔 200 和功能新的制片人计量学功能。 这些创新,阿切尔 300 个 LCM 可能担当在很好中的一个全面重叠错误管理解决方法,符合要求的严格的说明合格扫描程序和紧密地控制前进逻辑和存储设备大容积制造。 可升级从现有的阿切尔工具, 300 个 LCM 表示高性能的阿切尔,低费用所有权躺在了先进的进程的计量学解决方法。 

阿切尔 300 个 LCM

“新颖的扩展名的实施对 193i 石版印刷的有对重叠错误折让的极大影响重要层的。 特别是,使用双仿造的石版印刷使能忍受的重叠错误降低到一些毫微米在这个 32nm 节点,并且随后的节点有一个更小的折让。 此限制是史无前例的”,指明的 Noam 小山、副总统和 KLA-Tencor 的重叠计量学分部的总经理。 “我们新的重叠计量学工具,阿切尔 300 个 LCM,符合对于评定是必需的严密说明躺在二重仿造和其他富挑战性的层的错误。 我们也开发了一个有效方式使石版印刷工程师采取在这个薄酥饼间的更多评定,因此这些参数可以有效被监控: 增加的评定速度的组合加上在这个彀子被安置的使用非常微小的计量学目标内,而不是之间仅区中断。 或许最重要,我们能提供所有在一个唯一,低脚印工具的这些功能。 我们相信阿切尔 300 个 LCM 在解决表示一个主要进步影响前进设备的困难重叠问题”。 

阿切尔 300 个 LCM 包括被设计的几个功能有效帮助芯片制造商发展和制造 2Xnm 逻辑和 1Xnm 半间距存储设备:

  • 对光学子系统的改善比早先生成阿切尔 200 提供更加严密的 (TMU)精确度和总测量误差、更好的 (MAM)评定反复性和更加快速的移动获取评定时间;
  • 新的制片人重叠评定功能帮助芯片制造商实施复杂重叠更正启用准确仿造; 并且
  • 提高能力从宽采用的,现有的阿切尔工具和设计在对其他计量学功能的 extendibility 帮助保护 fabs 的资本投资

阿切尔 300 个 LCM 系统被发运了对主要内存和逻辑半导体制造商全世界,其中他们为重叠应用将使用在先进发展和大容积生产。

来源: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 12. January 2012 01:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit