KLA - Tencor公司推出新的計量系統 2Xnm邏輯,1Xnm半間距存儲設備

Published on June 23, 2010 at 2:45 AM

KLA - Tencor公司(NASDAQ:KLAC),世界領先的供應商過程控制和產量的半導體及相關行業的管理解決方案,今天推出的射手300 LCM計量系統。

阿徹 300液晶顯示模塊,提供了精度和測量速度明顯比它的前身,被廣泛採用的弓箭手200,並提供了新的模具的測量能力。借助這些創新,弓箭手300的LCM可以作為一個全面覆蓋的錯誤管理解決方案,整個工廠,滿足資格掃描儀和嚴格控制領先的邏輯和存儲設備的大批量製造所需的嚴格的規範。從現有的弓箭手工具的升級,弓箭手300 LCM代表了高性能,低擁有成本的疊加計量解決方案的先進工藝。

阿徹 300液晶顯示模塊

“實施 193i光刻技術的新型擴展了關鍵層上覆蓋錯誤津貼的巨大的影響。,尤其是雙重圖形光刻技術的使用,降低了容忍覆蓋錯誤在32nm節點只有幾個納米,和後續節點諾姆諾爾,KLA - Tencor的疊對計量事業部副總裁兼總經理表示,“有一個更小的津貼。這項限制是前所未有的。 “我們新的疊對計量工具,弓箭手300液晶顯示模塊,滿足雙圖形和其他具有挑戰性層的測量覆蓋錯誤所需的嚴格的規範。,我們還開發了具有成本效益的方式,使光刻工程師採取更多的測量,整個晶圓,使這些參數可有效監測:一個結合提高了測量速度,加上使用的模具內放置本身的目標非常微小的計量,而不是只在地區之間的死也許最重要的是,我們能夠提供所有這些功能在一個單一的,低的足跡工具的,我們相信,弓箭手300 LCM的代表,解決困難的疊加問題,影響領先的設備邁進了一大步。“

阿徹 300液晶顯示模塊包括旨在幫助芯片製造商經濟有效地開發和製造 2Xnm邏輯和1Xnm半間距內存設備的幾個特點:

  • 光學子系統的改進提供了精度和更嚴格的總測量不確定度(TMU),更好的測量可重複性和更快的移動收購措施(MAM)的時間比上一代的弓箭手200;
  • 新芯片覆蓋測量能力幫助芯片製造商實現複雜的疊加更正,以便準確的圖案;
  • 可升級,從廣泛採用,現有的弓箭手工具和設計,在可擴展到其他計量能力,幫助保護晶圓廠的資本投資

射手300 LCM液晶顯示模塊系統已經運到主要的存儲器和邏輯的半導體製造商在全球範圍內,在那裡他們將在先進的開發和大批量生產的覆蓋應用。

來源: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 6. October 2011 13:42

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