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Tegal Para Suministrar 200 la Herramienta del SE DRIE a la Institución de Investigación de MEMS en Asia Pacific

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) un innovador de las soluciones especializadas de la producción para la fabricación de MEMS avanzado, potencia ICs y dispositivos optoelectrónicos, anunció hoy que ha recibido una pedido para una herramienta de Tegal 200 SE™ DRIE de una institución Pacífico-Basada Asia de cabeza de la Investigación y desarrollo que investigaba MEMS y tecnologías asociadas.

La herramienta del SE DRIE de Tegal 200 será expidida e instalada en el sitio de cliente más adelante este año civil.

Herramienta del Proceso del Silicio DRIE del SE de Tegal 200

La orden del sistema del silicio DRIE del SE de Tegal 200 es de un cliente por primera vez de Tegal DRIE, y es el resultado de una evaluación competitiva completa que el cliente se realizó en una amplia gama de herramientas del silicio DRIE y de surtidores de la herramienta, incluyendo soluciones competitivas del mercado interior del cliente.

“Nuestro cliente conoce el camino al liderazgo tecnológico en comienzo de la investigación y desarrollo de MEMS con elegir la herramienta derecha del silicio DRIE para el trabajo,” dijo a Yannick Pilloux, Director de Producto de DRIE en Tegal Corporation. “Creemos que nuestro sistema del SE de DRIE 200 y nuestros procesos profundos del grabado de pistas del silicio son los más seguros y el más avanzado en el mercado hoy y, combinado con el soporte local excelente disponible de Tegal, dio lugar a Tegal que era elegido sobre nuestros competidores, incluyendo la competencia del hogar-mercado.”

El Tegal 200 SE™ es la solución mejor-adaptada de DRIE para 3D-SiP y el volumen de MEMS que fabrican hoy. La herramienta se diseña para lograr la alta producción con el bajo Costo de la Propiedad en aplicaciones de producción, gracias a la combinación del tiempo extendido entre la limpieza, la exclusión mínima del borde del fulminante, altos tipos del grabado de pistas del silicio, estabilidad de proceso excelente y la aguafuerte altamente uniforme. Los 200 resultados del SE son gracias obtenidos a la puesta en vigor por Tegal de una amplia gama de dotación física propietaria y a las mejorías de proceso al proceso estándar de Bosch por grabado de pistas profundo del silicio; estas mejorías incluyen Tegal el forro calentado patentado el proceso patentado, y de S.H.A.R.P. (Alto Proceso Estupendo de la Relación de Aspecto).

Las herramientas del silicio DRIE de Tegal se emplean actualmente en laboratorios numerosos de la investigación y desarrollo en el mundo entero, enganchándose a programas de investigación comerciales y académicos, y también se encuentran en las fundiciones de MEMS y otras líneas En grandes cantidades comerciales dedicadas de la Fabricación mundiales.

Fuente: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 01:14

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