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Posted in | MEMS - NEMS

Tegal Pour Fournir 200 l'Outil de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE aux Institutions de Recherche de MEMS à Asia Pacific

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq : TGAL) un innovateur des solutions spécialisées de production pour la fabrication de MEMS, l'alimentation électrique IC et les dispositifs optoélectroniques avancé, a aujourd'hui annoncé qu'il a reçu une commande pour un outil de Tegal 200 SE™ DRIE d'une principale institution Pacifique-Basée de Recherche et développement de l'Asie vérifiant MEMS et technologies associées.

L'outil de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE de Tegal 200 sera expédié et installé au site d'abonnée plus tard cette année civile.

Outil de Procédé du Silicium DRIE d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 200

La commande de système du silicium DRIE d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 200 est d'une abonnée de première année de Tegal DRIE, et est le résultat d'un bilan compétitif complet que l'abonnée a exécuté sur une large gamme d'outils du silicium DRIE et de fournisseurs d'outil, y compris les solutions compétitives du marché domestique de l'abonnée.

« Notre abonnée connaît le chemin au commandement technologique dans des débuts de recherche et développement de MEMS avec choisir l'outil droit du silicium DRIE pour le travail, » a dit Yannick Pilloux, Chef de Produit de DRIE à Tegal Corporation. « Nous croyons que notre système d'EXPERT EN LOGICIEL de DRIE 200 et nos procédés profonds gravure à l'eau forte de silicium sont les plus fiables et le plus avancé sur le marché aujourd'hui et, combiné avec l'excellent support local fourni par Tegal, a eu comme conséquence Tegal ayant été choisi au-dessus de nos concurrents, y compris la concurrence sur le marché. »

Le Tegal 200 SE™ est la solution meilleur-adaptée de DRIE pour 3D-SiP et volume de MEMS fabriquant aujourd'hui. L'outil est conçu pour réaliser le débit élevé avec le coût bas de la Propriété en applications de production, grâce à la combinaison du temps étendu entre le nettoyage, exclusion minimale d'arête de disque, tarifs élevés gravure à l'eau forte de silicium, excellente stabilité de processus et gravure hautement uniforme. Les 200 résultats d'EXPERT EN LOGICIEL sont grâce obtenue à la mise en place par Tegal d'un large éventail de matériel de propriété industrielle et aux améliorations de processus au procédé normal de Bosch gravure à l'eau forte profonde de silicium ; ces améliorations concernent par Tegal le recouvrement passionné breveté, et le procédé breveté de S.H.A.R.P. (Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur).

Des outils du silicium DRIE de Tegal sont actuellement utilisés dans de nombreux laboratoires de recherche et développement dans le monde entier, s'engageant dans des programmes de message publicitaire et de recherche universitaire, et sont également trouvés dans des fonderies de MEMS et d'autres lignes À Fort Débit commerciales dédiées de Fabrication mondiales.

Source : http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 01:38

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