Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | MEMS - NEMS

Tegal aan Levert 200 het Hulpmiddel van SE DRIE aan de Instelling van het Onderzoek MEMS in Asia Pacific

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Het Bedrijf van Tegal, (Nasdaq: TGAL) een vernieuwer van gespecialiseerde productieoplossingen voor de vervaardiging van geavanceerde MEMS, macht ICs en optoelectronic apparaten, kondigde vandaag aan het een orde voor een Tegal 200 hulpmiddel SE™ DRIE van een belangrijke Azië vreedzaam-Gebaseerde instelling die van het Onderzoek en van de Ontwikkeling ontvangen heeft MEMS en bijbehorende technologieën onderzoeken.

Tegal 200 het hulpmiddel van SE DRIE zal bij de plaats van de klant worden verscheept en worden geïnstalleerd later dit kalenderjaar.

Tegal 200 het Hulpmiddel van het Proces van het Silicium DRIE van SE

Tegal 200 de orde van het het siliciumDRIE systeem van SE is van een first-time klant van Tegal DRIE, en is het resultaat van een grondige concurrerende die evaluatie de klant op een brede waaier van siliciumDRIE hulpmiddelen en hulpmiddelleveranciers wordt uitgevoerd, met inbegrip van concurrerende oplossingen van de nationale van de klant markt.

„Onze klant kent de weg aan technologische leiding in onderzoek MEMS en ontwikkelingsbegin met het kiezen van het juiste siliciumDRIE hulpmiddel voor het werk,“ bovengenoemde Yannick Pilloux, de Manager van het Product DRIE bij Bedrijf Tegal. „Wij geloven dat ons systeem van SE DRIE 200 en ons diep silicium processen zijn het betrouwbaarst en vandaag het meest geavanceerd op de markt en etsen, gecombineerd met de uitstekende lokale die steun beschikbaar bij Tegal, in Tegal wordt geresulteerd die over onze concurrenten, met inbegrip van de huis-markt concurrentie.“ hebben gekozen

Tegal 200 SE™ is de best-aangepaste oplossing DRIE voor 3D-slokje en Mems- volume vandaag vervaardigend. Het hulpmiddel wordt ontworpen om hoge productie met lage Kosten van Eigendom in productietoepassingen te bereiken, dankt aan de combinatie van uitgebreide tijd tussen het schoonmaken, de minimale uitsluiting van de wafeltjerand, etst het hoge silicium tarieven, uitstekende processtabiliteit en hoogst eenvormige ets. De 200 resultaten van SE worden verkregen dankzij de implementatie door Tegal van een brede waaier van merkgebonden hardware en de het procesverbeteringen aan het standaardproces Bosch voor diep silicium etsen; deze verbeteringen omvatten Tegal patenteerden verwarmde voering, en het gepatenteerde (Super Hoge Aspectverhouding Proces) proces S.H.A.R.P.

De het siliciumDRIE hulpmiddelen van Tegal zijn over de hele wereld weldra aangewend in talrijke onderzoek en ontwikkelingslaboratoria, in dienst nemend in zowel commerciële als academische onderzoeksprogramma's, en in gieterijen MEMS en andere specifieke commerciële lijnen van de Productie van het Hoge Volume wereldwijd ook gevonden.

Bron: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 01:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit