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Tegal Para Fornecer 200 a Ferramenta do SE DRIE à Instituição de Pesquisa de MEMS em Asia Pacific

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporaçõ, (Nasdaq: TGAL) um inovador de soluções especializadas da produção para a fabricação de MEMS avançado, potência CI e dispositivos optoelectronic, anunciou hoje que recebeu um pedido para uma ferramenta de Tegal 200 SE™ DRIE de uma instituição Pacífico-Baseada Ásia principal da Investigação e Desenvolvimento que investiga MEMS e tecnologias associadas.

A ferramenta do SE DRIE de Tegal 200 será enviada e instalada no local de cliente mais tarde este ano civil.

Ferramenta do Processo do Silicone DRIE do SE de Tegal 200

O pedido do sistema do silicone DRIE do SE de Tegal 200 é de um cliente principiante de Tegal DRIE, e é o resultado de uma avaliação que competitiva completa o cliente executou em uma escala larga de ferramentas do silicone DRIE e de fornecedores da ferramenta, incluindo soluções competitivas do mercado interno do cliente.

“Nosso cliente conhece o trajecto à liderança tecnologico em começos da investigação e desenvolvimento de MEMS com escolha da ferramenta direita do silicone DRIE para o trabalho,” disse Yannick Pilloux, Director de Produto de DRIE em Tegal Corporaçõ. “Nós acreditamos que nosso sistema do SE de DRIE 200 e nossos processos profundos gravura em àgua forte do silicone são os mais seguros e os mais avançados no mercado hoje e, combinado com o apoio local excelente disponível de Tegal, conduzimos a Tegal que está sendo escolhido sobre nossos concorrentes, incluindo a competição do HOME-mercado.”

O Tegal 200 SE™ é a solução melhor-adaptada de DRIE para 3D-SiP e volume de MEMS que fabricam hoje. A ferramenta é projectada conseguir a produção alta com baixo Custo da Posse em aplicações de produção, em agradecimentos à combinação de tempo prolongado entre a limpeza, na exclusão mínima da borda da bolacha, em taxas altas gravura em àgua forte do silicone, na estabilidade excelente do processo e gravura a água-forte altamente uniforme. Os 200 resultados do SE são agradecimentos obtidos à aplicação por Tegal de uma vasta gama de melhorias proprietárias do hardware e de processo ao processo padrão de Bosch para gravura em àgua forte profunda do silicone; estas melhorias incluem Tegal o forro caloroso patenteado o processo patenteado, e de S.H.A.R.P. (Processo Alto Super do Prolongamento).

As ferramentas do silicone DRIE de Tegal são empregadas presentemente em laboratórios numerosos da investigação e desenvolvimento no mundo inteiro, contratando em programas de investigação comerciais e académicos, e igualmente encontradas nas fundições de MEMS e em outras linhas comerciais dedicadas da Fabricação do Volume Alto mundiais.

Source: http://www.tegal.com/

Last Update: 4. June 2015 06:10

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