Posted in | MEMS - NEMS

Tegal для того чтобы Поставить 200 Инструмент SE DRIE к Научно-исследовательскому Институту MEMS в Asia Pacific

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Корпорация, (NASDAQ: TGAL) рационализатор специализированных разрешений продукции для изготовления предварительного MEMS, силы ICs и электронно-оптический приборов, сегодня объявило что оно получило заказ для инструмента Tegal 200 SE™ DRIE от ведущего Тихий океан-Основанного Азией заведения Научных Исследований и Разработки расследуя MEMS и связанные технологии.

Инструмент SE DRIE Tegal 200 будет погружен и будет установлен на местоположения клиента более поздно этот календарный год.

Инструмент Процесса Кремния DRIE SE Tegal 200

Заказ системы кремния DRIE SE Tegal 200 от начинающего клиента Tegal DRIE, и результат тщательной конкурсной оценки клиент выполнил на обширном ряде инструментов кремния DRIE и поставщиков инструмента, включая конкурсные разрешения от местного рынка клиента.

«Наш клиент знает путь к технологическому водительству в стартах научных исследований и разработки MEMS с выбирать правый инструмент кремния DRIE для работы,» сказал Yannick Pilloux, Менеджер по Продукции DRIE на Tegal Корпорации. «Мы верим что наша система SE DRIE 200 и наши глубокие процессы etch кремния самые надежные и само предварительно на рынке сегодня и, совмещено с превосходной местный поддержкой доступной от Tegal, привел к в Tegal будучи выбиранной над нашими конкурентами, включая конкуренцию дом-рынка.»

Tegal 200 SE™ лучш-приспособленное разрешение DRIE для 3D-SiP и тома MEMS изготовляя сегодня. Инструмент конструирован для того чтобы достигнуть высокого объём с низкой ценой Владения в промышленных приложениях, спасибо сочетание из расширенное время между чисткой, минимальном исключении края вафли, высоких тарифах etch кремния, превосходной отростчатой стабилности и сильно равномерном вытравливании. 200 результатов SE полученные спасибо вставка Tegal широкого диапазона собственнического оборудования и технологические прогрессы к стандартному процессу Bosch для глубокого etch кремния; эти улучшения включают вкладыш запатентованный Tegal нагретый, и запатентованным процессом S.H.A.R.P. (Супер Высокого Процесса Коэффициента Сжатия).

Инструменты кремния DRIE Tegal в настоящее время использованы в многочисленних лабораториях научных исследований и разработки повсеместно в мир, включающ и в коммерчески и академичных исследовательских программах, и также найдены в плавильнях MEMS и других преданных коммерчески Высокообъемных линиях Изготавливания всемирных.

Источник: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 01:12

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit