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Posted in | MEMS - NEMS

提供 200 个 SE DRIE 工具的 Tegal 给 MEMS 研究机构在亚太

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporation, (那斯达克:TGAL) 专门化的生产解决方法的创新者生产的先进的 MEMS、功率集成电路和光电子设备,今天宣布它从调查 MEMS 和被关联的技术的一个主导的亚洲基于和平的研究与开发机构收到了 Tegal 200 SE™ DRIE 工具的一份订单。

Tegal 200 SE DRIE 工具在客户地点后将被发运并且被安装此日历年度。

Tegal 200 SE 硅 DRIE 进程工具

Tegal 200 SE 硅 DRIE 系统顺序是从一个首次 Tegal DRIE 客户,并且是这个客户在各种各样的硅 DRIE 工具和工具供应商执行一个详尽的竞争评估的结果,包括从客户的国内市场的竞争解决方法。

“我们的客户认识路径对在 MEMS 研究与开发起始时间的技术领导与选择为这个工作的正确的硅 DRIE 工具”,产品管理器说扬妮克 Pilloux, DRIE Tegal 的 Corporation。 “我们相信我们的 DRIE 200 SE 系统和我们深刻的硅铭刻进程是最可靠的,并且最先进在今天这个市场上和,与这个非常好的本地支持代表结合可得到从 Tegal,导致被选择在我们的竞争对手的 Tegal,包括家庭市场竞争”。

Tegal 200 个 SE™是的3D 饮者和今天制造 MEMS 的数量的最适应的 DRIE 解决方法。 工具被设计达到与所有权的低成本的高处理量在生产应用程序、由于延长的时间的组合清洁之间,最小的薄酥饼边缘排除、高硅铭刻费率、非常好的处理稳定性和高度统一蚀刻的。 200 个 SE 结果是获得的由于这次实施由各种各样的所有权硬件 Tegal 和改进流程对标准 Bosch 进程深硅铭刻; 这些改善包括这个 Tegal 给予专利的被加热的划线员和给予专利的 S.H.A.R.P. (超级高长宽比进程) 进程。

Tegal 硅 DRIE 工具在许多研究与开发实验室在 MEMS 的铸造厂和全世界其他专用的商业大容积制造的线路在世界各地目前被使用,参与商业和学术研究方案和也被找到。

来源: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 01:34

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