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提供 200 个 SE DRIE 工具的 Tegal 給 MEMS 研究機構在亞太

Published on June 30, 2010 at 5:52 AM

Tegal Corporation, (那斯達克:TGAL) 專門化的生產解決方法的創新者生產的先進的 MEMS、功率集成電路和光電子設備,今天宣佈它從調查 MEMS 和被關聯的技術的一個主導的亞洲基於和平的研究與開發機構收到了 Tegal 200 SE™ DRIE 工具的一份訂單。

Tegal 200 SE DRIE 工具在客戶地點後將被發運并且被安裝此日曆年度。

Tegal 200 SE 硅 DRIE 進程工具

Tegal 200 SE 硅 DRIE 系統順序是從一個首次 Tegal DRIE 客戶,并且是這個客戶在各種各樣的硅 DRIE 工具和工具供應商執行一個詳盡的競爭評估的結果,包括從客戶的國內市場的競爭解決方法。

「我們的客戶認識路徑對在 MEMS 研究與開發起始時間的技術領導與選擇為這個工作的正確的硅 DRIE 工具」,產品管理器說揚妮克 Pilloux, DRIE Tegal 的 Corporation。 「我們相信我們的 DRIE 200 SE 系統和我們深刻的硅銘刻進程是最可靠的,并且最先進在今天這個市場上和,與這個非常好的本地支持代表結合可得到從 Tegal,導致被選擇在我們的競爭對手的 Tegal,包括家庭市場競爭」。

Tegal 200 个 SE™是的3D 飲者和今天製造 MEMS 的數量的最適應的 DRIE 解決方法。 工具被設計達到與所有權的低成本的高處理量在生產應用程序、由於延長的時間的組合清潔之間,最小的薄酥餅邊緣排除、高硅銘刻費率、非常好的處理穩定性和高度統一蝕刻的。 200 個 SE 結果是獲得的由於這次實施由各種各樣的所有權硬件 Tegal 和改進流程對標準 Bosch 進程深硅銘刻; 這些改善包括這個 Tegal 給予專利的被加熱的劃線員和給予專利的 S.H.A.R.P. (超級高長寬比進程) 進程。

Tegal 硅 DRIE 工具在許多研究與開發實驗室在 MEMS 的鑄造廠和全世界其他專用的商業大容積製造的線路在世界各地目前被使用,參與商業和學術研究方案和也被找到。

來源: http://www.tegal.com/

Last Update: 26. January 2012 00:22

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