Новое EVG610 от Группы EV Обеспечивает Мирового класса Технологию Выравнивания на Доступной Цене

Published on July 6, 2010 at 9:14 PM

Группа EV (EVG), ведущий поставщик оборудования выпуска облигаций и литографирования вафли для MEMS, нанотехнологии и рынков полупроводника, сегодня объявили что он вводил aligner маски EVG610 и скрепления, специфически для того чтобы адресовать свои покупательские спросы университета и исследования для более низкий системаа калькуляции издержек с большой отростчатой многосторонностью.

Комплектующ Ramped bonder вафли EVG501 запущенное год тому назад, EVG610 специфически конструировано для того чтобы обеспечить более широкий доступ к платформе технологии выравнивания сердечника EVG используемой повсеместно в свои самые последние системы aligner маски и скрепления.

Конструировал предложить гибкость своей индустри-доказанной маски автоматизированной EVG620 и скрепите aligner, который пристрелн для объема продукции, EVG610 исключает дорогие характеристики, как автоматизация, что не может необходимо в средстве исследования.

Директор технологии EVG исполнительный, Паыль прокомментированное Lindner, Группа &quote работает при средства исследования на 30 лет, давая нам проницательность в уникально требования более мелкомасштабных исследования и производственных объектов университета. Это почему мы продолжаемся свернуть вне продукты как EVG610 для того чтобы убеждаться что студенты и начинающие пользователи имеют доступ к доступный системам с главными характеристиками технологии которые не могут в противном случае быть доступны в более недорогих моделях. Это самое последнее добавление неотъемлемая часть наших совокупностей продуктов aligner маски и aligner скрепления, и завершает наше портфолио spanning вся цепь изготавливания--от Ramped полностью к полномасштабным, высокообъемным промышленным средам. quot;

Смотрящ На большие бюджетные ограничения, университеты и научно-исследовательские институты вынуждены закупить оборудование с больше гибкости которая позволит они вычислить по маштабу процессы через множественные научно-исследовательские проекты и применения. Гибкость Цены и системы--без жертвовать результаты качества--ключевые факторы в их процессах принятия решения. EVG новые, более недорогая система обеспечивают технологию выравнивания маски с самой высокой точностью верхнего слоя включающ выдержку лучшего возможного, пока своя скрепленная возможность выравнивания предлагает точность юстировки которая увеличивает отростчатые окна--оба обеспечивая более высоких выхода. Что больше, EVG610 позволяет исследователя плавно проникнуть их процессы к окружающим средам объема продукции.

Ramped Характеристики Системы EVG610

Система выравнивания маски EVG610 и скрепления сильно гибкая Ramped система которая может обрабатывать части и вафли субстрата до 200 mm. Эта система aligner маски и скрепления конструирована для того чтобы поддержать большое разнообразие процессов как Уф--nanoimprint литографирование (UV-NIL) и точные делать по образцу, bumping вафли и обломок-маштаб упаковывая для приборов MEMS, интегральной схемаы и сложного полупроводника.

Система EVG610 предлагает технологии сердечника от систем выравнивания маски и скрепления EVG высокообъемных включая:

  • Вариант для того чтобы совместить возможности выравнивания маски и скрепления оптимизирует общую стоимость владения (TCO)--уменьшает облечение, след ноги и цену деятельности сравненную до 2 отдельно системы
  • Гибкие конфигурации доступные от частей до 4, 6 - или субстраты 8 дюймов
  • возможность выравнивания Дн-Стороны, поддерживая литографирование задней стороны и процессы выравнивания скрепления
  • Бесподобное единообразие света выдержки на уровне вафли (вниз +/--1,5 проценты)
  • Процессы полно - совместимы к системам связи маски и выравнивания продукции EVG
  • Гибкая система multi-пользователя с возможностью multi-языка
  • Безуходный и высокоточный монолитовый этап подшипника воздуха
  • Windows®-Основанный пользовательский интерфейс

Last Update: 11. January 2012 22:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit