从 EV 组的新的 EVG610 提供国际水平的对准线技术在价格合理的费用

Published on July 6, 2010 at 9:14 PM

EV 组 (EVG),薄酥饼 MEMS 的,纳米技术和半导体市场接合和石版印刷设备的主导的供应商,今天宣布它介绍 EVG610 屏蔽和债券直线对准器,特别地解决其对更低的成本系统的大学和研究顾客要求与更加极大的处理通用性。

补充 EVG501 狂跳乱撞的薄酥饼 bonder 被生成一年前, EVG610 特别地被设计提供对 EVG 的核心对准线技术平台的更宽的存取使用在其最新的屏蔽和债券直线对准器系统中。

设计提供其行业证明的 EVG620 自动化的屏蔽的灵活性并且结合直线对准器,为批量生产被瞄准, EVG610 消灭昂贵的功能,例如自动化,哪些在研究所不可以必要。

EVG 行政技术主任,保罗 Lindner,被评论, &quote 组与研究所一起使用 30 年,给予我们洞察力到更加小规模的大学研究和生产设施的唯一需求。 所以我们继续铺开产品,如 EVG610 确信,学员和首次用户得以进入对价格合理的系统的与可能不否则取得到在更加低价的设计的优越技术功能。 此最新的添加是我们的屏蔽直线对准器和债券直线对准器产品系列的一个组成部分,并且完成我们的跨过整个制造链子的投资组合--从狂跳乱撞一直对全方位,大容积生产环境。 quot;

面对更加巨大的预算限制,大学和研究机构被迫采购有将使他们称在多个研究计划和应用间的进程的更多灵活性的设备。 费用和系统灵活性--没有牺牲质量结果--是关键系数在他们的决策过程中。 新的 EVG,更加低价的系统提供掩模对准技术以最高的重叠准确性启用这个最好风险,而其政券对准线功能提供最大化处理视窗的对准线准确性--两个保证的更高的产量。 什么是更多, EVG610 使研究员无缝移居他们的进程到批量生产环境。

EVG610 狂跳乱撞的系统性能

EVG610 屏蔽和债券对准线系统是可能处理基体部分和薄酥饼 200 mm 的一个高度灵活的狂跳乱撞的系统。 此屏蔽和债券直线对准器系统被设计支持各种各样的进程例如紫外nanoimprint 石版印刷 (UV-NIL) 和包装为 MEMS、集成电路和化合物半导体设备的细致的仿造,薄酥饼碰撞和筹码缩放比例。

这个 EVG610 系统提供从 EVG 的大容积屏蔽和债券对准线系统的核心技术包括:

  • 结合屏蔽和债券对准线功能的选项优选所有权的费用合计 (TCO)--减少投资、脚印和运作费与二个不同系统比较
  • 灵活配置可得到从部分至 4, 6 - 或 8 英寸基体
  • 底层侧对准线功能、支持的后部石版印刷和债券对准线进程
  • 在薄酥饼级别的不匹配风险光均一 (下来 +/-1.5 百分比)
  • 进程是完全兼容的对 EVG 生产屏蔽和对准线接合系统
  • 灵活的多用户系统以多语言的功能
  • 免修护和高精密度的整体气浮轴承阶段
  • 基于 Windows® 的用户接口

Last Update: 11. January 2012 22:30

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