Posted in | Nanoelectronics

تطبيق مواد تكشف عن نظام لإنتاج افيلا TSV

Published on July 13, 2010 at 3:51 AM

تطبيق مواد ، هي شركة رائدة في التكنولوجيا انعطاف المقبل للتقدم من خلال والسليكون عبر (TSV) التكنولوجيا لارتفاع حجم التصنيع. ينظر إليها على أنها حاسمة لتكنولوجيا إنتاج أجهزة الجوال في العالم في المستقبل ، والهياكل TSV الاتصال طبقات متعددة من الدوائر المتكاملة أو رقائق مكدسة (3D - ICS) لتقديم أداء أعلى ، أكثر وظيفية ، أصغر عامل شكل حزمة التي تستهلك طاقة أقل.

مع إعلان اليوم من المنتجين التطبيقية نظام ™ افيلا ، مواد التطبيقية يصبح تجهيزات الأولى التي تقدم حلولا شاملة لTSV لتسريع التنمية والوقت الى السوق من 3D - المرحلية.

ومن المتوقع وفقا للباحثين في السوق ، مما يؤدي chipmakers تقوم باستثمارات استراتيجية في 3D - TSVs ، مع اكثر من خمسة عشر خطوط 300mm الرائدة في العملية أو في إطار development.1 التطبيقية في رقاقة المستوى معدات التعبئة والتغليف لفرص السوق المتقدمة ، بما في ذلك تلفيق TSV ، على أن ما يقرب من 500 مليون دولار أمريكي هذا year.2

"رقاقة التراص 3D مع تي اس في صناعة الرقاقات توفر حلا مقنعا لتوسيع نطاق رقاقة ، ولكن التنفيذ الناجح لTSVs يتطلب مستوى غير مسبوق من التعاون ضمن سلسلة التوريد" ، قال الدكتور بارت Swinnen مدير الربط والتغليف في IMEC. "التطبيقية هي المساهم الرئيسي في برنامجنا TSV 3d حيث نعمل على تطوير حلول تقنية فعالة من حيث التكلفة من شأنها أن تعطي بعدا جديدا لتوسيع نطاق".

واحد من مفاتيح لافتعال العديد من الهياكل رقاقة 3D هو القدرة على إيداع العازلة أكسيد السيليكون والأفلام نيتريد في درجات حرارة تقل عن 200 درجة مئوية. يتم إنشاء هذه الهياكل في TSVs على رقائق رقيقة بشكل استثنائي خلال المراحل النهائية من عملية التصنيع ، حيث ارتفاع درجات الحرارة يمكن ان يسبب تلفا لاصقة تستخدم لسندات الرقاقة لحاملة مؤقتة. اجتماع فريد هذا التحدي ، فإن النظام يوفر للعملاء مع افيلا فائقة موحدة والأفلام PECVD3 درجات الحرارة المنخفضة في ما يصل إلى ثلاثة أضعاف سرعة رقاقة والتكنولوجيات المتنافسة ، مما يصل الى 30 ٪ أقل تكلفة الملكية من. تأهل عميل بالفعل نظام لافيلا الإنتاج التجريبي للأجهزة ذاكرة مكدسة.

"نهجنا شامل يسمح لنا أن نوفر للعملاء مجموعة أدوات كاملة لتصنيع جميع TSV التدفقات تشمل حفر ، CVD ، PVD4 ، ECD5 ، والتنظيف وCMP6 رقاقة" ، قال الدكتور راندير ثاكور ، نائب الرئيس التنفيذي والمدير العام لمجموعة الأنظمة التطبيقية للسيليكون. "مع قدرتنا الفريدة للتحقق من تدفقات العملية الكاملة في مركز تكنولوجيا الميدان ، ويمكن تسريع التعلم التطبيقية للعملاء وأعضاء الاتحاد ، وضمان الانتقال السلس من R & D لحجم الانتاج".

المصدر : http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 3. October 2011 02:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit