חדש AdvantEdge Mesa המערכת מספקת תת ננומטר אחידות CD

Published on July 13, 2010 at 3:56 AM

אפלייד מטריאלס, Inc חשפה היום יישומי החדש שלה Centura ® AdvantEdge ™ Mesa ™ מערכת ליצירת בקנה מידה ננו תכונות מעגל עם דיוק אנגסטרום ברמה DRAM של הדור הבא, התקני פלאש Logic.

בעקבות פריצת דרך זה קריטי טכנולוגיית הסיליקון לחרוט, אפלייד חוותה דרישה מהירה מאוד עבור מערכת AdvantEdge Mesa. למעלה מ 60 חדרי יש שנשלחו ללקוחות בשלושת החודשים האחרונים - איפה הם כלי-of-שיא לייצור שבב 32nm ו - 22nm פיתוח.

אפלייד מטיריאלס חווה ביקוש גבוה עבור המערכת החדשה שלה יישומי Centura Mesa AdvantEdge לחרוט בשל העיצוב המהפכני שלה מקור המספק אנגסטרום ברמת דיוק עד לקצה של פרוסות סיליקון.

"אימוץ נלהב של הלקוחות שלנו של Mesa AdvantEdge מערכת ממחיש הצורך מסופקים חזקה של תעשיית הטכנולוגיה לחרוט מסוגל בודה בצפיפות גבוהה התקני זיכרון ואת צריכת אנרגיה יעילה מעבדים", אמר אלי Yieh, סמנכ"ל ומנהל כללי של החטיבה העסקית Etch של יישומי . "על ידי שחרור chipmakers מהצורך לפצות על אי - אחידות מגבלות שיטתית, מערכת Mesa יכול להיות כלי קריטי עבור לסייע ללקוחות לכווץ תכונות המעגל, זליגת השליטה הנוכחי ולהשיג את התשואות ייצור גבוהה הדרושים כדי לבנות את המכשירים הניידים החכמים של העתיד ".

מפתח ל Mesa AdvantEdge המערכת אינדוקטיבי מצמידים החדש שלה פלזמה (ICP) עיצוב המקור, אשר מבטלת את "החתימה לחרוט" מאפיין זה הגביל את הביצועים של כל ICP מערכות מבוססות הקודם. ICP של Mesa מקור מספק באמת שטוח, פרופיל אחיד, המאפשר העברה מדויקת של תבניות ליתוגרפיה החוצה לקצה הקיצוני של פרוסות סיליקון כדי להגדיל באופן משמעותי את התשואה למות. ממוקד עבור בידוד קריטי תעלה רדודה, קבור קווי קצת מילה, פעמיים סיליקון דפוסים יישומים לחרוט, הטובה ביותר ב-class Mesa AdvantEdge של ביצועי המערכת מספקת עומק לחרוט 1% אי - אחידות, CD משנה ננומטר אחידות, ואת רקיק זמין הגבוה ביותר התפוקה.

בסיס גדול של יישומי מותקנים מערכות AdvantEdge הקיים ניתן לשדרג עם Mesa הטכנולוגיה, מציע למקבלי מכשיר נתיב שדרוג חלק לדורות מכשיר מרובים באמצעות פלטפורמה מוכחת.

Mesa AdvantEdge המערכת היא אחת הטכנולוגיות החשובות כמה שהוא הודיע ​​על ידי אפלייד במהלך SEMICON המערבית 2010 בסן פרנסיסקו.

מקור: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 14. October 2011 05:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit