Новые AdvantEdge Mesa система обеспечивает суб-нм CD однородности

Published on July 13, 2010 at 3:56 AM

Applied Materials, Inc объявила о выпуске своей новой прикладной Centura ® ™ AdvantEdge Mesa ™ система для создания нано-функций цепи с ангстрем уровня точности следующего поколения DRAM, Flash и логики устройств.

В результате этой критической прорыв в технологии травления кремния, прикладной испытала очень быстрый спрос на системы AdvantEdge Mesa. Более 60 камер отгрузили потребителям в последние три месяца - где они инструмента из-запись для 32-нм производство чипов 22 нм и развития.

Applied Materials пережил высокий спрос на новый прикладной Centura AdvantEdge Mesa травления систему за счет ее революционный дизайн ресурсом, который позволяет ангстрем уровня точности к краю пластины.

"Наши клиенты" энтузиазма принятием AdvantEdge Mesa системы иллюстрирует сильную неудовлетворенных потребностей отрасли для травления технология способна изготовления высокоплотных устройств памяти и энергосберегающих микропроцессоров ", сказала Элли Yieh, корпоративный вице-президент и генеральный менеджер Etch разделение бизнеса прикладной в . "Освободив чипов от необходимости компенсировать систематические неравномерности ограничения, системы Mesa может быть важным инструментом для оказания помощи клиентам сократится цепь функций, контроля тока утечки и добиться высоких урожаев производства, необходимых для создания умных мобильных устройств будущего ".

Ключ к AdvantEdge Mesa системы является ее нового индуктивно-связанной плазмой (ICP) источник дизайн, который устраняет характерный "травления подписи", который имеет ограниченную производительность всех предыдущих ПМС-систем. ПМС источник Mesa предоставляет действительно плоская, однородный профиль, что позволяет точную передачу литографии моделей из к самому краю пластины значительно увеличить доходность умереть. Предназначенное для критических мелкой изоляции траншею, похоронен немного и слово линии, и дважды структурирование кремния травления приложений, лучших в своем классе производительность AdvantEdge Mesa системы обеспечивает 1% травления глубина неравномерности, суб-нанометровых CD однородности и самый высокий пластины пропускную способность.

Большая база установленных прикладных о существующих системах AdvantEdge может быть модернизирована с Mesa технологии, предлагая производителям устройств плавного обновления для нескольких поколений устройства с помощью проверенной платформе.

AdvantEdge Mesa система является одним из нескольких важных технологий, объявленного Применяется во время SEMICON West 2010 в Сан-Франциско.

Источник: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 10. October 2011 12:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit