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AIXTRON recibe un pedido de mayor fundición de Taiwan

Published on July 13, 2010 at 4:05 AM

AIXTRON AG anunciaron hoy un pedido para su QXP-8300 deposición ALD herramienta de una gran fundición de Taiwán. El pedido es para un sistema de 300MM para la deposición de la próxima generación de materiales high-k de deposición de capas atómicas (ALD). La orden fue recibida en el primer trimestre de 2010 y el sistema será entregado en la segunda mitad de este año.

Dr. Sasangan Ramanathan, director técnico de AIXTRON Inc., comentó: "Este fin de validar la singularidad de nuestra patente protegida metodología trimotor entrega precursor de la nueva generación de high-k de materiales para la fabricación de alto volumen."

Las unidades QXP-8300 el rendimiento de ALD al siguiente nivel mediante la explotación de la probada experiencia de las tecnologías de ducha y la vaporización desarrollado por AIXTRON durante muchos años. El QXP-8300 combina IP innovaciones protegidas en estas dos áreas que son más críticos para la fabricación de chips de éxito en el cada vez más a prueba sub-30 nanómetros generaciones de dispositivos.

Según el Dr. Bernd Schulte, Jefe de Operaciones en AIXTRON AG, "A fin de herramienta de una fundición de Taiwan no sólo valida la tecnología, sino también el árbol genealógico de producción en masa de la QXP-8300. Con el más bajo de Operaciones y CoC contra todas las herramientas de la competencia de la QXP-8300 ofrece una solución muy necesaria para los desafíos técnicos de depositar avanzados materiales high-k, sin comprometer la productividad. "

Con gran interés emergentes a nivel mundial de los principales fabricantes mundiales de chips Dr. Schulte comentó además que "AIXTRON es particularmente satisfecho de que hemos visto más y más clientes muy interesados ​​en utilizar la tecnología y el trimotor QXP-8300 plataforma de condensador próxima generación de DRAM y aplicaciones flash. "

El término trimotor ® es una marca registrada.

Last Update: 3. October 2011 02:40

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