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AIXTRON Reçoit la Commande de la Fonderie Taiwanaise Principale

Published on July 13, 2010 at 4:05 AM

AIXTRON AG ont aujourd'hui annoncé une commande pour son outil de dépôt de QXP-8300 ALD d'une fonderie Taiwanaise importante. La commande est pour un système de 300MM pour le dépôt des matériaux de haut-k de prochain rétablissement par Dépôt Atomique de Couche (ALD). La commande a été reçue dans le premier trimestre de 2010 et le système sera fourni dans la deuxième moitié de cette année.

M. Sasangan Ramanathan, Directeur Technique chez AIXTRON Inc., a commenté que « Cette commande valide l'unicité de notre méthodologie d'accouchement de précurseur de TriJet protégée par brevet pour des matériaux de haut-k de prochain rétablissement pour la fabrication à fort débit. »

Le QXP-8300 pilote la performance d'ALD au prochain niveau en exploitant les compétences prouvées du showerhead et des technologies de vaporisation développés par AIXTRON sur beaucoup d'années. Le QXP-8300 combine les innovations protégées par IP dans ces deux zones qui deviendront plus critiques pour la fabrication réussie de puce dans les dispositifs de plus en plus provocants de rétablissements du nanomètre sub-30.

Selon M. Bernd Schulte, Officier En Chef de Fonctionnement à AIXTRON AG, « Une commande d'outil d'une fonderie de Taïwan valide non seulement la technologie mais également le pedigree de production en série du QXP-8300. Avec le Roucoulement et le CoC les plus faibles contre tous les outils de concurrence le QXP-8300 fournit une solution indispensable aux défis techniques des matériaux avancés déposants de haut-k sans compromettre sur la productivité. »

Avec l'intérêt prononcé apparaissant mondial de M. global principal Schulte de fabricants de puces a davantage commenté que « AIXTRON est particulièrement heureux que nous avons vu les abonnées de plus en plus très désireuses pour employer la technologie de TriJet et la plate-forme QXP-8300 pour le condensateur de MÉMOIRE VIVE DYNAMIQUE de prochain rétablissement et les applications d'Instantané. »

La condition TriJet® est une marque déposée.

Last Update: 12. January 2012 21:22

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