AIXTRON は主要な台湾の鋳物場から順序を受け取ります

Published on July 13, 2010 at 4:05 AM

AIXTRON AG 今日主要な台湾の鋳物場からの QXP-8300 ALD の沈殿ツールのための発注を発表しました。 順序は原子層の沈殿によって次世代の高k 材料の沈殿の 300MM システムのためです (ALD)。 順序は 2010 年の第一四半期で受け取られ、システムは今年の下半期で提供されます。

「この順序私達のパテントの独自性を認可すること Sasangan Ramanathan、コメントされた AIXTRON Inc. の主な鑑定官先生は保護しました大量の製造業の次世代の高k 材料のための TriJet の前駆物質配達方法を」。が

QXP-8300 は次のレベルに多くの年にわたる AIXTRON によって開発されるシャワー・ヘッドおよび蒸発の技術の証明された専門知識の開発によって ALD のパフォーマンスを運転します。 QXP-8300 はますます挑戦的な副30 ナノメーターの世代別装置の正常なチップ製造業のためにより重大になる両方のこれらの領域の IP によって保護される革新を結合します。

先生に従ってベルント Schulte、 AIXTRON AG の主な操作の将校、 「台湾の鋳物場からのツール順序は技術 QXP-8300 のまた大量生産の系統しか認可しません。 最も低い鳴き声そして CoC によって対すべての競争のツール QXP-8300 は沈殿の高度の高k 材料の技術的な挑戦に生産性で妥協しないで提供します大いに必要な解決を」。

主要で全体的なチップ製造業者の先生から Schulte 全体的に現れていて強い興味が 「次世代のドラムのコンデンサーおよびフラッシュアプリケーションのために TriJet の技術および QXP-8300 プラットホームを利用するために私達が鋭敏な顧客を非常に」。がますます見た AIXTRON 特に嬉しいこと更にコメントしました

ターム TriJet® は登録商標です。

Last Update: 12. January 2012 21:28

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