AIXTRON Получает Заказ от Главной Тайваньской Плавильни

Published on July 13, 2010 at 4:05 AM

AIXTRON AG сегодня объявили заказ для своего инструмента низложения QXP-8300 ALD от главной Тайваньской плавильни. Заказ для системы 300MM для низложения материалов следующего поколени высоких-k Атомным Низложением Слоя (ALD). Заказ был получен в первая четверти 2010 и система будет поставлена в второй половине этого года.

Др. Sasangan Ramanathan, Главный Инженерно-Технический Работник на AIXTRON прокомментированном Inc., что «Этот заказ утверждает уникальность нашего патента защитил методологию поставки прекурсора TriJet для материалов следующего поколени высоких-k для высокообъемного изготавливания.»

QXP-8300 управляет представлением ALD к следующему уровню путем эксплуатировать доказанную экспертизу showerhead и технологий испарения начатых AIXTRON над много лет. QXP-8300 совмещает рационализаторства защищенные IP в обеих этих областях которые станут более критическими для успешного изготавливания обломока в все больше и больше трудных приборах поколений нанометра sub-30.

Согласно Др. Bernd Schulte, Главному Офицеру Деятельности на AIXTRON AG, «Заказ инструмента от плавильни Тайвани не только утверждает технологию но также родословную массового производства QXP-8300. С самыми низкими CoO и CoC против всех состязаясь инструментов QXP-8300 поставляет необходимое разрешение к техническим возможностям депозируя предварительных высоких-k материалов без компрометировать на урожайности.»

При большой интерес вытекая глобально от главного глобального Др. Schulte изготовлений обломока более добавочно прокомментировал что «AIXTRON в частности довольный которому мы увидели больше и больше клиентов очень сильных для того чтобы использовать технологию TriJet и платформу QXP-8300 для конденсатора ДРАХМЫ следующего поколени и применений Вспышки.»

Термина TriJet® зарегистрированная торговая марка.

Last Update: 12. January 2012 22:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit