Endura אפלייד מטריאלס "מערכת מארקס 20 שנה של הישגים

Published on July 13, 2010 at 4:13 AM

אפלייד מטריאלס, היום חברת חוגגת השנה 20 של פלטפורמת יישומי Endura ® שלה, מערכת metallization המצליח ביותר בהיסטוריה של תעשיית המוליכים למחצה.

מערכות Endura מהפכה metallization המוליכים למחצה על ידי אספקת טכנולוגיות מהפכניות ורמות שמישות אמינות, גמישות כל כך רחוק עלתה היכולות הקיימות. הרוב המכריע של שבבים שנעשו ב -20 השנים האחרונות נוצרו באמצעות אחד מעל 4,500 מערכות Endura כי יש shipped ברחבי העולם מעל 100 לקוחות.

Endura יישומי חומרים הפלטפורמה היא מערכת metallization המצליח ביותר בהיסטוריה של תעשיית המוליכים למחצה, עוזר ליצור כמעט כל שבב אלקטרוני.

"כאשר המערכת Endura שוחרר הראשון, אותו סט בר חדש עבור ביצועים, אמינות טכנית ב PVD," אמר ד"ר מארק ליו, סגן נשיא בכיר של פעולות על טייוואן סמיקונדקטור תעשייה בע"מ "אנו מסתמכים על מערכות Endura ורציף שלה חידושים בכל המפעלים שלנו כדי לבצע מגוון רחב של PVD משולבת ויישומים CVD. "

יסואו Naruke, סגן נשיא של חטיבת זיכרון, חברת טושיבה סמיקונדקטור, ציין, "כמעט 20 שנה אחרי שקנינו Endura המערכת הראשונה שלנו, פלטפורמת ממשיך לעמוד בסטנדרטים הגבוהים שלנו metallization."

מערכת Endura ממשיכה לקבוע אמות מידה חדשות לתעשיית עם הקדמה היום של שתי טכנולוגיות חדשניות שמטרתן יצירת החדשנית שבבי הדרושים הדור הבא של מכשירים חכמים. Endura יישומי מערכת Avenir ™ מאפשר chipmakers לשלב השער האחרון מתכת טרנזיסטור הטכנולוגיה, אחד השינויים הגדולים ביותר בעיצוב טרנזיסטור מאז 1970, ב המתקדמים ביותר שלהם ביצועים גבוהים התקנים ההיגיון. יישומי חדש Endura iLB ™ ההתקדמות במערכת המדינה-of-the-art בתצהיר שכבה אטומית (ALD) כדי לאפשר ללקוחות לכווץ את מהירות קריטיים מבנים מגע של 22nm ומעבר ההיגיון שבבי זיכרון.

"החידושים הציג היום יהיה לשמור על הלקוחות שלנו בחוד החנית, מה שמאפשר להם לנסוע קדימה את חוק מור," אמר מייק ספלינטר, יו"ר ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס. "השקעות המשך של יישומי טכנולוגיית הרחבות ושדרוגים הפרודוקטיביות שמרו את Endura בחוד החנית של ייצור מוליכים למחצה דרך דורות שבבים רבות. מעל 85% של מערכות Endura שנשלחו ללקוחות ב -20 השנים האחרונות עדיין בפעולה היום - עדות המהנדסים בכל יישומי אשר חדשנות ומסירות המיוצר במערכת כי הוא כזה חלק חיוני של תעשיית המוליכים למחצה של העבר, ההווה והעתיד ".

Endura חדשנות היום ואת העתיד

יישומי חדש Endura Avenir מערכת RF PVD1 ברצף פיקדונות שכבות מתכתיים מרובים בצורת לב של טרנזיסטור שער מתכת. שימוש קנייני תדר רדיו משופרת PVD הטכנולוגיה, מערכת Avenir יכול להפקיד משנה ננומטר סרטים עם ממשקים בדיוק מהונדסים כדי למזער זליגת הנוכחי ולהגדיל מיתוג מהירות. בנוסף RF PVD, המערכת גמישה, פלטפורמת פרודוקטיביות גבוהה יכול להיות מוגדר עם מגוון רחב של PVD, CVD2 וטכנולוגיות אלד, מה שהופך אותו מסוגל ייחודי של בודה את כל שער מתכת הסרט מבנים מחסנית אחד לעבור. מערכת Avenir Endura השיגה כבר כלי-of-שיא למעמד על ההיגיון מוביל ללקוחות היציקה לייצור טייס 22nm.

צמצום ההתנגדות של קשרי הגומלין בין טרנזיסטורים או תאים זיכרון חיוני ייצור של אמין, מהיר מעבדים ושבבי זיכרון. אתגר מרכזי מתחת 32nm הוא מציאת דרך חסכונית להפקיד סרט דק מאוד שכבת מחסום כדי לאפשר מילוי טונגסטן הבאים. Endura יישומי iLB PVD / מערכת אלד נפגש עם האתגר הזה באמצעות קנייני הרדיקלי משופרת אלד (RE-ALD ™) טכנולוגיית להפקיד דקים, חזקים TiN3 סרטים עם אחידות מרשימה אפילו תעלות עמוקות מאוד עם היבט ratios לעיל 20:01. המערכת נמצאת כיום את הכלי של שיא ב יצרני ההיגיון הגדולות נמצא בשימוש עבור פיתוח ה-DRAM מתקדמים.

מקור: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 6. October 2011 06:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit